半導(dǎo)體晶圓表面及內(nèi)部缺陷直接影響芯片性能與良率，是集成電路制造過(guò)程中的關(guān)鍵質(zhì)控環(huán)節(jié)。隨著制程工藝不斷逼近物理極限，晶圓檢測(cè)在精度、效率與標(biāo)準(zhǔn)化方面面臨更高挑戰(zhàn)，也對(duì)行業(yè)技術(shù)迭代與標(biāo)準(zhǔn)合規(guī)提出了迫切需求。
 

　　2025年10月21日14:00，化工儀器網(wǎng)特聯(lián)合徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司舉辦“半導(dǎo)體晶圓表面及內(nèi)部檢測(cè)”線上會(huì)議，邀請(qǐng)半導(dǎo)體制造、檢測(cè)技術(shù)與設(shè)備開發(fā)領(lǐng)域的科研人員、工程師與技術(shù)專家參與和深入交流，旨在為行業(yè)提供技術(shù)分享與實(shí)用解決方案交流平臺(tái)，推動(dòng)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)水平提升與產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新。
 

　　會(huì)議日程
 

具體以現(xiàn)場(chǎng)為準(zhǔn)
 

　　講師介紹(排名不分先后)
 

　　周維虎，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所二級(jí)研究員
 

　　擔(dān)任國(guó)家科技獎(jiǎng)評(píng)審專家、中國(guó)機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)評(píng)審專家、國(guó)家02重大專項(xiàng)光學(xué)曝光系統(tǒng)總體組專家、科技部十三五先進(jìn)制造領(lǐng)域重大科技任務(wù)實(shí)施方案編寫組專家/總體組專家、科技部十三五科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)重大科技任務(wù)實(shí)施方案編寫組專家/總體組成員、國(guó)家02重大專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收專家、863項(xiàng)目驗(yàn)收專家、973項(xiàng)目評(píng)審專家、科技部科學(xué)儀器重大專項(xiàng)評(píng)審專家(技術(shù)專家、監(jiān)理、中期評(píng)估專家組組長(zhǎng))、科技部國(guó)際合作評(píng)審專家、自然基金評(píng)審專家(重大科學(xué)儀器專項(xiàng)、優(yōu)青、面上、青年基金)、中國(guó)博士后科學(xué)基金評(píng)審專家、省市級(jí)自然基金評(píng)審專家(北京市、上海市、天津市、江蘇省、浙江省自然基金)、省市級(jí)科技計(jì)劃評(píng)審專家(北京市、上海市、江蘇省、蘇州市、常熟市、張家港市等)； 全國(guó) 光電測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)秘書長(zhǎng)、中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)計(jì)量?jī)x器專業(yè)委員會(huì)副主任委員、中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)光譜儀器專業(yè)委員會(huì)副主任委員、全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)特聘委員、中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)精密機(jī)械分會(huì)理事會(huì)理事、中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)光機(jī)電技術(shù)與系統(tǒng)集成分會(huì)委員、中國(guó)儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)專家委員、全國(guó)光輻射安全和激光設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)委員、全國(guó)產(chǎn)品尺寸和幾何技術(shù)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)委員、中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)微納測(cè)量技術(shù)委員會(huì)委員、中科院計(jì)算光學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會(huì)委員、北京市光電信息與儀器工程研究中心學(xué)術(shù)委員會(huì)委員、中關(guān)村光電產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)理事/專家委員、中國(guó)光學(xué)工程學(xué)會(huì)委員、中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專業(yè)委員會(huì)委員;目前主要研究方向?yàn)榧呻娐烦呔裙鈱W(xué)檢測(cè)、激光跟蹤多自由度測(cè)量、飛秒激光頻率梳高性能測(cè)量、視覺(jué)三維幾何量測(cè)量及缺陷檢測(cè)等。先后參與國(guó)家02重大專項(xiàng)、國(guó)家自然基金委重大儀器專項(xiàng)發(fā)展戰(zhàn)略、科技部科學(xué)儀器重大科技任務(wù)“十三五”實(shí)施方案、科技部先進(jìn)制造重大科技任務(wù)“十三五”實(shí)施方案、中科院有關(guān)科技計(jì)劃等論證與編寫工作。
 

　　倪嘯，徠卡顯微系統(tǒng)（上海）貿(mào)易有限公司工業(yè)部產(chǎn)品經(jīng)理
 

　　畢業(yè)于上海理工大學(xué)機(jī)械學(xué)院，在工業(yè)領(lǐng)域深耕十年以上，擁有全類型檢測(cè)儀器設(shè)備經(jīng)驗(yàn)例如：三坐標(biāo)，工業(yè)CT，激光雷達(dá)和光學(xué)掃描等。
 

　　關(guān)于徠卡
 

　　徠卡顯微系統(tǒng)(Leica Microsystems)是德國(guó)著名的光學(xué)制造企業(yè)。具有175年顯微鏡制造歷史，現(xiàn)主要生產(chǎn)顯微鏡, 用戶遍布世界各地。早期的“Leitz"顯微鏡和照相機(jī)深受用戶愛(ài)戴, 到1990年徠卡全部產(chǎn)品統(tǒng)一改為“Leica"商標(biāo)。徠卡公司是集顯微鏡、圖像采集產(chǎn)品、圖像分析軟件三位一體的顯微鏡生產(chǎn)企業(yè)。
 

　　點(diǎn)擊進(jìn)入報(bào)名頁(yè)面