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總厚度僅40微米,我國科學(xué)家成功制備超薄柔性溫度傳感器

2025年12月16日 10:00:26 來源:化工儀器網(wǎng) 作者:楊 點(diǎn)擊量:4766

近日,中國科學(xué)院新疆理化技術(shù)研究所研究員孔雯雯團(tuán)隊在超薄柔性溫度傳感器領(lǐng)域取得重要進(jìn)展。

  柔性溫度傳感器在可穿戴設(shè)備、醫(yī)療監(jiān)測、電子皮膚等領(lǐng)域具有廣闊應(yīng)用前景,然而長期以來,實(shí)現(xiàn)高靈敏度與高穩(wěn)定性共存一直是一大挑戰(zhàn)。高性能溫度傳感的核心在于敏感材料(如金屬氧化物),這類材料通常需要經(jīng)過高溫退火(數(shù)百攝氏度)處理才能獲得理想的晶體結(jié)構(gòu)和靈敏的電學(xué)性能。
 
  而柔性傳感器的基底,如常見的聚酰亞胺(PI),雖然耐熱性較好,但其耐受溫度通常低于敏感材料所需的理想工藝溫度。若強(qiáng)行在柔性基底上直接高溫制備敏感層,會導(dǎo)致基底變形、老化甚至分解,器件性能與可靠性無從談起。這一“材料工藝溫度”與“基底耐受溫度”之間的根本矛盾,使得研究者往往被迫在“性能”與“柔性/輕薄”之間做出妥協(xié),制約了高性能超薄柔性傳感器的實(shí)現(xiàn)。
 
  近日,中國科學(xué)院新疆理化技術(shù)研究所研究員孔雯雯團(tuán)隊在超薄柔性溫度傳感器領(lǐng)域取得重要進(jìn)展。團(tuán)隊采用“水溶性犧牲層輔助轉(zhuǎn)移”策略,成功解決了高性能敏感材料與柔性基底之間的工藝兼容性難題,制備出總厚度僅為40微米的超薄柔性溫度傳感器。
 
  團(tuán)隊通過水溶性GeO?犧牲層轉(zhuǎn)移技術(shù),成功構(gòu)建了基于PI/MnCo?O?/Ta?O?異質(zhì)結(jié)構(gòu)的負(fù)溫度系數(shù)傳感器,實(shí)現(xiàn)了材料性能與工藝可行性之間的平衡。
 
  團(tuán)隊使用水溶性且耐高溫的二氧化鍺(GeO?) 作為臨時、可犧牲的“襯底”,依次沉積并優(yōu)化鉭氧化物(Ta?O?)緩沖層、錳鈷氧化物(MnCo?O?)敏感層,形成高質(zhì)量的多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)。這一步確保了傳感材料本身具備優(yōu)異的靈敏度和穩(wěn)定性。敏感薄膜制備完成后,研究人員在其上方旋涂一層超薄的聚酰亞胺(PI)溶液,固化后形成柔性支撐層。此時,將整個結(jié)構(gòu)浸入水中,GeO?襯底遇水迅速溶解,而上方的整個功能薄膜層(PI/MnCo?O?/Ta?O?)則完整地釋放出來,自然地漂浮在水面。
 
  通過這一巧妙的策略,團(tuán)隊成功制備出了總厚度僅為40微米的超薄柔性溫度傳感器。超薄傳感器展現(xiàn)出優(yōu)異的綜合性能:其電阻溫度系數(shù)(TCR)高達(dá)-4.1 %/℃,響應(yīng)時間僅192毫秒(ms),在反復(fù)彎折與熱沖擊下仍能穩(wěn)定工作。
 
  這項研究不僅為高性能柔性溫度傳感器的制造提供了一種通用、高效的解決方案,更推動了柔性電子技術(shù)與實(shí)際應(yīng)用之間的關(guān)鍵一步。未來,此類超薄、可靠的傳感器有望廣泛應(yīng)用于智能穿戴、精準(zhǔn)醫(yī)療、人機(jī)交互及工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域,為我們的生活和產(chǎn)業(yè)升級帶來全新的感知維度。
 
  相關(guān)研究成果Water-Soluble GeO2-Transferred Ultrathin PI/MnCo2O4/Ta2O5 Heterostructures for High-Sensitivity Flexible Temperature Sensors with Extreme Stability于近日發(fā)表于《ACS應(yīng)用材料與界面》(ACS Applied Materials & Interfaces)。
 
  參考來源:中國科學(xué)報
 
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