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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>勻膠機>POLOS450 SPIN勻膠機POLOS

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POLOS450 SPIN勻膠機POLOS

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 POLOS450
  • 產(chǎn)地 德國
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/7/1 13:46:09
  • 訪問次數(shù) 5804

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半導體化工領域專業(yè)實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發(fā)、設計、生產(chǎn)并營銷質量可靠的、安全易用的技術產(chǎn)品及優(yōu)質專業(yè)的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

產(chǎn)地類別 進口 應用領域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池

1、  SPIN勻膠機POLOS450勻膠機工作原理:

勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關。

2、SPIN勻膠機POLOS勻膠機型號及技術參數(shù)如下:

型號

SPIN150i

SPIN200i

POLOS300

POLOS450

POLOS600

基片范圍

直徑160mm or 4?方片

直徑260mm or 6?方片

直徑360mm or 8?方片

直徑460mm or 350mm方片

直徑600mm or 430mm方片

程序段數(shù)

無限制

無限制

無限制

無限制

30個程序

操作步數(shù)

無限制

無限制

無限制

無限制

90個步驟

旋轉速度

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-1500rpm ±1rpm steps

0-1,500 rpm ±1rpm steps

旋轉精度

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

旋轉方向

順時針、逆時針、交換擺

順時針、逆時針、交換擺

順時針、逆時針、交換擺

順時針、逆時針、交換擺

順時針、逆時針

加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

1500rpm時取決于負載

500 rpm/sec

旋轉時間

無限制*,± 0.1 seconds steps

無限制*,± 0.1 seconds steps

無限制*,± 0.1 seconds steps

無限制*,± 0.1 seconds steps

1 to 999 sec/step

腔體直徑

202 mm

302 mm

402 mm

502 mm

642mm

外形尺寸

(w*h*d )

274 x 250 x 451 mm

380 x 307 x 559mm

430 x 310 x 650mm

795 x 638 x 922mm

800 x 1,450 x 1,650mm

觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

全彩觸屏控制

設備重量

14Kg

20Kg

32Kg

75Kg

 

電源參數(shù)

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

三、勻膠機的特點:

1、該勻膠機采用德國*技術:
2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質構造設計,這種材質有很好的抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
3、勻膠機真空Chuck經(jīng)精密加工制成,具有良好的光潔度及平整度,保證晶圓片被很好地吸附,主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐,軸向有彈性墊及調(diào)整墊,可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能,或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調(diào)壓閥和節(jié)流閥實現(xiàn)調(diào)節(jié),與配套真空泵一同使用。



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