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Zeta-388 光學(xué)輪廓儀

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輪廓儀

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億誠恒達(dá)科技有限公司,在北京和香港兩地注冊。北京公司位于北京海淀中關(guān)村核心區(qū)域,是一家專門代理營銷進(jìn)口科學(xué)儀器、測試測量設(shè)備的高科技企業(yè),所經(jīng)營的產(chǎn)品涵蓋材料科學(xué)、化學(xué)分析、綠色能源、半導(dǎo)體及微電子科學(xué)等領(lǐng)域。公司本著“誠信、務(wù)實(shí)、品質(zhì)、服務(wù)”的經(jīng)營理念,已經(jīng)為國內(nèi)許多用戶提供了*的儀器設(shè)備,專業(yè)的技術(shù)咨詢和完善的售后服務(wù)。

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億誠恒達(dá)科技有限公司愿與客戶攜手,共創(chuàng)美好未來!

萬能材料試驗(yàn)機(jī),疲勞試驗(yàn)機(jī),沖擊試驗(yàn)機(jī),電化學(xué)工作站,恒電位/恒電流儀,石英晶體微天平,三維形貌儀,輪廓儀,原子力顯微鏡(AFM),掃描探針顯微鏡(SPM),摩擦磨損試驗(yàn)機(jī),瓶蓋扭矩測量儀,軸承扭矩測量儀,高頻疲勞試驗(yàn)機(jī)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,地礦,能源

Zeta-388 光學(xué)輪廓儀

Zeta-388的配置靈活并易于使用,并集合了六種不同的光學(xué)量測技術(shù)。ZDot測量模式可同時(shí)收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠(yuǎn)焦距圖像。其他3D測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射計(jì)都可以對薄膜厚度進(jìn)行測量。Zeta-388也是一款顯微鏡,可用于樣品檢查或自動(dòng)缺陷檢測。Zeta-388通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能,以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送,適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

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主要功能

·        采用ZDotMulti-Mode(多模式)光學(xué)器件的簡單易用的光學(xué)輪廓儀,具有廣泛的應(yīng)用

·        可用于樣品復(fù)檢或缺陷檢測的高質(zhì)量顯微鏡

·        ZDot同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像

 

 

·        ZXI白光干涉測量技術(shù),適用于z向分辨率高的廣域測量

·        ZIC干涉對比度,適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)

·        ZSI剪切干涉測量技術(shù)提供z向高分辨率圖像

·        ZFT使用集成寬帶反射計(jì)測量膜厚度和反射率

·        AOI自動(dòng)光學(xué)檢測,并對樣品上的缺陷進(jìn)行量化

·        生產(chǎn)能力:通過測序和圖案識別實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量

 

·        晶圓傳送機(jī)械臂自動(dòng)加載直徑為50mm200mm的不透明(如硅)和透明(如藍(lán)寶石)樣品

 

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Zeta-388 光學(xué)輪廓儀

主要應(yīng)用

·        臺階高度:納米到毫米級別的3D臺階高度

·        紋理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

·        外形:3D翹曲和形狀

·        應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

·        薄膜厚度:30nm100μm透明薄膜厚度

·        缺陷檢測:捕獲大于1μm的缺陷

·        缺陷復(fù)檢:采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

 

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