CT-BW燃燒-水洗
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京朗銘潤(rùn)德光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2021/1/21 10:52:03
- 訪問(wèn)次數(shù) 884
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子/電池 |
|---|
每個(gè)模塊的廢氣總流量可達(dá)1,500slm
每個(gè)反應(yīng)腔有四個(gè)獨(dú)立的廢氣進(jìn)口
高達(dá)99.99%的處理效率（DRE）
經(jīng)客戶端測(cè)試，在處理沉積和蝕刻制程廢氣上有良好的處理效率
針對(duì)半導(dǎo)體EPI制程，特別設(shè)計(jì)CT-BW-EPI設(shè)備
燃燒反應(yīng)腔的水幕設(shè)計(jì)大幅降低了腐蝕及粉塵沉積的問(wèn)題
每個(gè)模塊的廢氣總流量可達(dá)1,500slm
每個(gè)反應(yīng)腔有四個(gè)獨(dú)立的廢氣進(jìn)口
高達(dá)99.99%的處理效率（DRE）
經(jīng)客戶端測(cè)試，在處理沉積和蝕刻制程廢氣上有良好的處理效率
針對(duì)半導(dǎo)體EPI制程，特別設(shè)計(jì)CT-BW-EPI設(shè)備
燃燒反應(yīng)腔的水幕設(shè)計(jì)大幅降低了腐蝕及粉塵沉積的問(wèn)題
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