依靠F50的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非常快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非常快速，大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。F50系統(tǒng)配置高精度使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái)，確保能夠做成千上萬次測(cè)量。

產(chǎn)品名稱： F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x

品牌： Filmetrics

產(chǎn)品型號(hào)： F50

產(chǎn)地： 美國(guó)

自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)

依靠F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非?？焖伲蠹s每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。F50系統(tǒng)配置高精度使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái)，確保能夠做成千上萬次測(cè)量。

系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線性的圖形模式，也可以編 輯自己需要的測(cè)試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。

可測(cè)樣品膜層

基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量?？蓽y(cè)樣品包括：

量測(cè)原理

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射，由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,我們可以判斷我們可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（愈多的震蕩代表較大的厚度）。而其他的材料特性如折射率與粗糙度也能同時(shí)測(cè)量。

FILMeasure軟件提供兩種分析模式：

Sepectru-Matching與FFT。在Spectrum-Matching模式中，您可以分析厚度與折射率。反正，F(xiàn)TT模式雖然只能測(cè)量厚度，但在較厚的薄膜厚度測(cè)量，F(xiàn)FT的分析能力更為健全。

FILMapper軟件-自動(dòng)測(cè)量

測(cè)繪圖案繪制

用戶能隨心所欲的繪制所需的圖案，操作功能方便省時(shí)

測(cè)繪圖案參數(shù)：

•圓形/方形

•放射狀

•中心或邊緣排除

•點(diǎn)位密度

2D和3D的測(cè)繪

不論是反射率，厚度還是折射率的測(cè)量，都可以用2D或3D呈現(xiàn)。測(cè)繪結(jié)果能依不同的需要做調(diào)整，參數(shù)設(shè)定簡(jiǎn)單容易。測(cè)繪圖能從不同的角度檢視。