6英寸可編程勻膠機/旋涂儀

產品介紹：

名稱：可編程勻膠機

型號：HC160SE

應用： HC160SE可編程勻膠機，設計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm（6英寸）或對應的方片，使用工業(yè)級直流馬達和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。

產品概述：

勻膠機（旋涂儀）制膜的原理：在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高質量薄膜涂層的制備。

HC160SE可編程勻膠機，被設計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm或對應的方片，使用工業(yè)級直流馬達和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。該型號勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。

　　HC160SE勻膠機設計標準為結構緊湊、簡單易用，程控操作，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。

產品特點：

l                      設計緊湊，可輕松放置在手套箱內使用；

l                      HDPE高分子材料旋涂內腔，耐腐蝕； 

l                      4.3英寸彩色觸屏控制，易學易用；可精確設置實驗參數，運行狀態(tài)實時顯示；

l                      采用高級PLC程序控制，旋涂速度、旋涂時間、加速度等工藝參數可編程，實現快速旋涂和多步編程旋涂；

l                      具有電機進膠保護功能；管路易疏通結構設計；

l                      轉速、加速度、時間、真空泵關/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作。

l                      可設置用戶密碼保護功能；

l                      帶真空檢測安全互鎖，當真空度不足時，設備停止運行，防止飛片；且此功能可在設置中關閉；

l                      帶蓋子檢測安全互鎖，當沒有關好蓋子時，設備停止運行，確保操作安全；且此功能可在設置中關閉；

l                      帶排廢接口；

l                      帶自動點膠接口，可升級自動點膠系統(tǒng)；

技術參數：

l                      適用晶元尺寸范圍：? 5~160mm；

l                      旋涂速度：100~12000rpm；轉速分辨率：1rpm；

l                      旋涂加速度：100-30000rpm/s；

l                      最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

l                      內腔直徑220mm，內腔采用獨特的凹面防濺設計；

l                      具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

l                      電源輸入：AC200-230V

產品附圖：

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