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TDM系列HMDS預(yù)處理真空干燥箱

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海喆圖科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 DRETOP/喆圖
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 上海市奉賢區(qū)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2026/1/11 12:33:34
  • 訪問次數(shù) 2466

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       上海喆圖科學(xué)儀器有限公司是一家具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高新技術(shù)企業(yè),公司自成立以來專業(yè)致力于科學(xué)儀器的研發(fā)生產(chǎn),并先后取得多項(xiàng)國家專*。公司一貫遵循:“靠質(zhì)量和誠信贏得客戶,追求企業(yè)價(jià)值與客戶價(jià)值共同成長”的經(jīng)營理念和 “做好產(chǎn)品質(zhì)量是最大的積德行善”的質(zhì)量理念。

公司主要產(chǎn)品有培養(yǎng)箱、干燥箱、馬弗爐、試驗(yàn)箱等科研設(shè)備,產(chǎn)品已遍布美國、俄羅斯、印度、泰國、印度尼西亞、馬來西亞、巴基斯坦、迪拜、瑞典、墨西哥等全球多個(gè)國家或地區(qū)。目前已與眾多知*企業(yè)、高等院校及科研、事業(yè)單位精密合作,如中科院、清華大學(xué)、博世、華為、邁瑞醫(yī)療、中糧集團(tuán)、中石油、疾控中心、海爾、國藥、康希諾、雙匯、衛(wèi)龍等,并贏得了諸多用戶的信任和業(yè)界相傳的口碑。

公司產(chǎn)品已涵蓋以下行業(yè):

   (1)企業(yè)機(jī)構(gòu):制藥行業(yè)、生物制品行業(yè)、食品行業(yè)、化工行業(yè)、農(nóng)業(yè)行業(yè)、石油行業(yè)、環(huán)保行業(yè)等;不傾國,不傾城,喆圖人愿傾其所有為您提供最*的產(chǎn)品和服務(wù)!

   (2) 事業(yè)單位:質(zhì)檢、商檢、藥檢、疾控中心、出入境、血站、環(huán)保、畜牧、公安、博物館等;

   (3)教育醫(yī)療:高校、科研單位、醫(yī)院醫(yī)療行業(yè)等。

     公司已率*通過IS09001國際質(zhì)量管理體系認(rèn)證,我們積極響應(yīng)中國“質(zhì)造”的口號(hào),喆圖工程師們以“鑄造民族品牌,傳承工匠精神”為目標(biāo),不斷雕琢自己的產(chǎn)品,不斷改善產(chǎn)品的工藝,享受著產(chǎn)品在雙手中升華的過程。

    公司堅(jiān)持服務(wù)至上、品質(zhì)至上的原則。公司將為所有客戶建立維護(hù)檔案,與客戶簽訂售后服務(wù)承諾書,設(shè)立專門的售后服務(wù)部門,推行快速響應(yīng)機(jī)制,確保在第一時(shí)間解決客戶的后顧之憂。

     面對新時(shí)代的歷史使命,喆圖人勇于擔(dān)當(dāng)企業(yè)和社會(huì)的發(fā)展責(zé)任,緊跟國家發(fā)展戰(zhàn)略,以科技夢助推中國夢,以創(chuàng)造更大的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)、人文價(jià)值為己任,努力將喆圖品牌向民族品牌邁進(jìn)。我們是一個(gè)有激情和夢想的團(tuán)隊(duì),不傾城,不傾國,喆圖人愿傾其所有為客戶提供最*的產(chǎn)品和服務(wù)!

 

喆圖品牌釋義:

喆:【前漢·敘傳】圣喆之治,意為明智,有智慧。圖從字形上理解是一個(gè)非常吉利的字,左右結(jié)構(gòu)兩個(gè)“吉”組合而成,寓意大吉大利,我公司據(jù)此將“喆”引申表達(dá)為一個(gè)愿望、思想。

圖:【尚書·太甲上】慎乃儉德,惟懷永圖;視履考祥,其旋元吉。意為要重視節(jié)儉之德,懷有長遠(yuǎn)的謀劃。天高地遠(yuǎn),人生其中,艱難叢生,困苦迭出,無可回避。處此艱難旅途的君子,應(yīng)該以內(nèi)心的和悅?cè)犴?,去?yīng)付外界的剛健強(qiáng)勁。剛?cè)嵯酀?jì),內(nèi)外相應(yīng),天人和諧。如此,方能逢兇化吉,順暢無憂。公司的“圖”取自大展宏圖,勵(lì)精圖治,有寄寓公司產(chǎn)品精益求精之意,表示一種抱負(fù)、前程。

“喆圖”品牌可用“愿望、前程、奮斗”三個(gè)詞語表達(dá),喆圖人愿充分利用聰明智慧,做事精益求精。以達(dá)成喆圖愿景的美好愿望而謀劃,創(chuàng)造更大的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)、人文價(jià)值,為追求喆圖宗旨來做為抱負(fù)而奮斗,使得員工幸福、客戶滿意、成人成己、利國利民。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

生化培養(yǎng)箱/人工氣候培養(yǎng)箱/電熱恒溫培養(yǎng)箱/恒溫恒濕箱/光照培養(yǎng)箱/二氧化碳培養(yǎng)箱等/恒溫干燥箱/真空干燥箱/高溫烘箱等/箱式電阻爐/陶瓷纖維馬弗爐/高溫馬弗爐/管式爐/氣氛爐/試驗(yàn)箱/搖床/振蕩器/水槽/水浴鍋等

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

TDM系列HMDS預(yù)處理真空干燥箱又稱真空鍍膜干燥箱,是一種專用于半導(dǎo)體、光電、微電子等領(lǐng)域中光刻前處理工藝的專用設(shè)備。其主要功能是在真空環(huán)境下將六甲基二硅氮烷(HMDS, Hexamethyldisilazane)以蒸汽形式沉積于基材表面,從而改善基材表面親水性,提高光刻膠與基底的附著力,確保后續(xù)微圖形工藝的質(zhì)量與穩(wěn)定性,喆圖預(yù)處理真空干燥箱適用于 1-12 英寸半導(dǎo)體晶圓(硅基、碳化硅、氮化鎵等)、MEMS 傳感器基板、LED芯片襯底、光學(xué)鏡片等高精度元件的預(yù)處理,覆蓋集成電路制造、先進(jìn)封裝、光電器件生產(chǎn)、高校科研等場景。

產(chǎn)品特點(diǎn)

技術(shù)特點(diǎn)

TDM系列HMDS預(yù)處理真空干燥箱采用高效真空系統(tǒng),確保HMDS處理在穩(wěn)定、無氧、低濕環(huán)境中進(jìn)行,避免水汽干擾;

②支持硅片、玻璃片、藍(lán)寶石、ITO基板等材料的預(yù)處理,可根據(jù)客戶需求定制托盤、樣品架;

③腔體采用耐HMDS腐蝕的不銹鋼材質(zhì),防止氣體殘留腐蝕設(shè)備,冷凝系統(tǒng)處理完畢后可自動(dòng)排放或冷凝未反應(yīng)的HMDS蒸氣,保護(hù)環(huán)境和人員安全;

智能操控

①觸摸屏控制系統(tǒng),可根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時(shí)間;

PLC控制系統(tǒng)具有自動(dòng)控溫、任意定時(shí)、超溫報(bào)警等,彩色觸摸屏顯示,控溫準(zhǔn)確可靠;

③具有溫控模塊,腔體加熱與基材加熱溫度均勻,確保HMDS蒸氣均勻分布并穩(wěn)定沉積;

匠心工藝

①采用鋼化玻璃觀察窗,監(jiān)測方便,一體成型的硅橡膠門封,確保箱內(nèi)密封性好;

②腔體呈立方體或長方體,棱角分明,直角設(shè)計(jì)增強(qiáng)抗壓性能,內(nèi)部空間利用率高;

③低真空鍍膜工藝的密閉腔體結(jié)構(gòu),真空環(huán)境可控,確保鍍膜過程無污染、無泄漏;

承載均勻涂布與多工藝集成,支持蒸發(fā)、濺射、MBE、PLD等多工藝模塊的智能融合;

采用鋼化玻璃觀察窗,監(jiān)測方便,內(nèi)膽不銹鋼,無易燃易爆裝置,無發(fā)塵材料,一體成型的硅橡膠門封,確保箱內(nèi)密封性好;

提供單腔、雙腔、四腔等多規(guī)格腔體設(shè)計(jì)(四腔機(jī)型支持獨(dú)立控溫與工藝,產(chǎn)能提升4 倍)可根據(jù)客戶產(chǎn)能需求定制腔體尺寸與處理容量;

 

 

 

應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造

1.工藝可控域:精密調(diào)控溫度場、壓力梯度等;

2.技術(shù)覆蓋域:兼容多種鍍膜技術(shù),適配多樣化生產(chǎn)。

光學(xué)器件鍍膜

1.光學(xué)鏡頭抗反射膜(AR)、紅外濾光片多層膜;

2.激光器腔鏡高反射膜(HR)、分光膜。

新能源與新材料

1.鈣鈦礦太陽能電池電極層(ITO/Ag)沉積;

2.柔性顯示面板(OLED)透明導(dǎo)電膜(AZO)鍍制。

 

工藝適配

工藝類型

物理氣相沉積(PVD):磁控濺射、電弧離子鍍、電子束蒸發(fā);

化學(xué)氣相沉積(CVD):等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)。

鍍膜材料

金屬(AlCu、Ag)、氧化物(Al2O3 、TiO2)、氮化物(TiN、SiN)等。

 

 

 

典型應(yīng)用

 

半導(dǎo)體代工

應(yīng)用場景:3nm邏輯芯片金屬互聯(lián)層沉積;

客戶價(jià)值:提升芯片良率15%,降低電遷移失效風(fēng)險(xiǎn)。

光學(xué)鏡頭制造

應(yīng)用場景:8K超高清鏡頭抗反射膜鍍制;

客戶價(jià)值:反射率<0.1%,透光率>99.5%(400-700nm波段)。

鈣鈦礦光伏

應(yīng)用場景:大面積鈣鈦礦電池電極層連續(xù)鍍膜;

客戶價(jià)值:電池轉(zhuǎn)換效率突破26%,成本降低30%

航空航天

應(yīng)用場景:衛(wèi)星光學(xué)載荷耐輻射保護(hù)膜沉積;

客戶價(jià)值:通過ISO-15860空間環(huán)境模擬認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

TDM-64V

TDM-90V

TDM-125V

TDM-215V

電源電壓

AC 220V 50Hz

控制系統(tǒng)

PLC智能控制

儀表控制

彩色觸摸屏

控溫范圍

RT+10-200

溫度分辨率

0.1

溫度波動(dòng)度

±0.1

真空度

133pa

內(nèi)膽尺寸

400*400*400

450*450*450

500*500*500

550*550*650

容積

64L

90L

125L

210L

載物托架

2

2

3

3



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