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Kronos 垂直梯度凝固法系統(tǒng)

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半導(dǎo)體晶圓長晶爐

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

垂直梯度凝固法系統(tǒng) Kronos 是 PVA TePla 公司推出的一種先進(jìn)材料制備設(shè)備。它主要利用垂直梯度凝固技術(shù),在特定的溫度和氣氛條件下,使材料從熔體中定向凝固生長,從而獲得高質(zhì)量、具有特定晶體結(jié)構(gòu)和性能的材料。

2. 設(shè)備應(yīng)用

· 半導(dǎo)體材料領(lǐng)域:用于生長半導(dǎo)體晶體,如硅、鍺等,這些晶體是制造集成電路、電子器件的基礎(chǔ)材料,所生長的高質(zhì)量晶體可以提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。

· 光電材料領(lǐng)域:可制備用于發(fā)光二極管(LED)、激光二極管等器件的材料,如砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等,有助于提升光電轉(zhuǎn)換效率和發(fā)光性能。

· 太陽能電池領(lǐng)域:用于生產(chǎn)太陽能電池用的硅基材料,通過精確控制晶體生長過程,提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。

3. 設(shè)備特點

· 高精度溫度控制:配備先進(jìn)的溫度控制系統(tǒng),能夠在整個生長過程中精確控制溫度梯度,確保晶體生長的穩(wěn)定性和均勻性,從而獲得高質(zhì)量的晶體材料。例如,在生長硅晶體時,可精確控制溫度在極小的范圍內(nèi)波動,保證硅晶體的結(jié)構(gòu)完整性和電學(xué)性能。

· 優(yōu)化的生長氣氛:可以精確控制生長環(huán)境中的氣體成分和壓力,為晶體生長創(chuàng)造最佳的氣氛條件,有效減少雜質(zhì)和缺陷的形成。比如在生長某些對氧含量敏感的晶體時,能嚴(yán)格控制氧氣的含量,防止晶體被氧化。

· 自動化程度高:系統(tǒng)具備高度自動化的操作流程,從材料裝填、生長參數(shù)設(shè)置到生長過程監(jiān)控和結(jié)束后的處理,都可以實現(xiàn)自動化控制,減少了人工干預(yù)帶來的誤差和不確定性,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。

· 可定制化:能夠根據(jù)不同用戶的需求和特定材料的生長要求,進(jìn)行定制化的設(shè)計和調(diào)整,滿足多樣化的科研和生產(chǎn)需求。例如,對于不同尺寸和形狀的晶體生長需求,可調(diào)整設(shè)備的腔體結(jié)構(gòu)和相關(guān)部件

4. 產(chǎn)品參數(shù)(部分為例

材料:砷化鎵,磷化銦

坩堝直徑:4–6"

坩堝高度:高達(dá)450 mm

爐室直徑:800 mm

爐室高度:975 mm

工作壓力:大40 bar

尺寸規(guī)格

高度:2,900 mm

寬度:1,650 mm

深度:1,350 mm

設(shè)備總重量:3,500 kg







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