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BOF-2C-400D 量產(chǎn)級箱式升華儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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     安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

     公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊伍,累計獲得patent200余項。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實驗室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
     公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關(guān)系,市場營銷網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
     連年來,公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨角獸500強”“科技創(chuàng)新獎”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎”等多項榮譽。










高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 升華儀,流化床,半導(dǎo)體前驅(qū)體制備設(shè)備,陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,航空航天,綜合

量產(chǎn)級箱式升華儀

滑軌進料系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、組合型收集系統(tǒng)、預(yù)熱及真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng)。

 

1、叉車式進料系統(tǒng):
軌道滑動式進出料模式,配備5層加熱托盤支架每一層2個托盤且上下左右密封,且每一層支架配備加熱元器件,加熱溫度可控,且托盤可從托盤支架上自由裝/卸。每一層托盤支架外側(cè)配備進氣口,給腔體提供氣流導(dǎo)向。門板與腔體之間采用加裝護照和石墨密封,即可防止材料沉積到門板上,也可維持基礎(chǔ)真空。
2、加熱系統(tǒng)
加熱腔體采用氧化鋁陶瓷纖維制品與加熱絲一體成型設(shè)計,金屬內(nèi)腔體,測溫元件采用K型熱偶,控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表,可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號。
3、組合型收集系統(tǒng)
收集區(qū)由兩個收集腔體組成,與加熱腔體連接處的部分,配備加熱系統(tǒng),溫度可控。另外一節(jié)收集腔體,配備可滑動裝置,方便收集腔體取料、拆卸、清理。收集管底部配備風(fēng)冷系統(tǒng),尾端配備艙門以及排氣接口與機械泵連接。
4、預(yù)熱及真空系統(tǒng)
進氣系統(tǒng)配備預(yù)熱裝置,預(yù)熱的氣體從裝料托盤進氣口接入、經(jīng)過主加熱腔體再從收集
管道排出。設(shè)備配備機械泵和電阻真空計,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。
5、工控及操作系統(tǒng)
配備15寸工控屏,集加熱、真空、數(shù)據(jù)處理等控制為一體。


量產(chǎn)級箱式升華儀

1、軌道滑動式進出料模式,配備載料托盤,可通過跟換托盤來實現(xiàn)連續(xù)升華;
2、每層托盤都配備加熱系統(tǒng),且溫度可控,溫場均勻;
3、配備氣體引流系統(tǒng),輔助材料升華后沉積到收集區(qū);
4、采用觸摸屏控制,參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,參數(shù)自動記錄;
5、設(shè)備集成化設(shè)計、以及集成化管理,美觀方便。


量產(chǎn)級箱式升華儀

整體尺寸

長*寬*高 6500*1400*1855mm(進料滑軌打開)

備注:放料托盤劃出與加熱主腔體預(yù)留500mm間隙

控制柜尺寸

長*寬*高=950*500*2000mm

整機重量

≤2000kg,每平方承重約400-500kg

滑軌式進料系統(tǒng)

單個托盤尺寸

長*寬*高=800*640*50mm

單個托盤重量

約10kg

托盤數(shù)量

5層10個

托盤材質(zhì)

304不銹鋼

通氣

每一層托盤上下左右密封,且每層雙邊配備吹起口,配備質(zhì)量流量計可控制進氣均勻性

加熱系統(tǒng)

腔體尺寸

長*高*高深=900*1000*1400mm(以實機為準(zhǔn))

使用溫度

450℃

最高溫度

≤600℃

保溫材質(zhì)

氧化鋁陶瓷纖維

加熱元件

加熱棒

測溫元件

K型熱偶

密封方式

石墨密封

升溫速率

1-15℃/min,可調(diào)

控溫方式

人機界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制

內(nèi)腔體材質(zhì)

304不銹鋼

收集系統(tǒng)

收集管尺寸

帶加熱區(qū)Φ400*500mm,可拆卸

帶隔熱防護區(qū)Φ400*1300mm,帶滑軌,可拆卸

腔體連接法蘭

異形定制

冷卻方式

風(fēng)冷

加熱方式

加熱絲

排水

配備排水裝置

預(yù)熱及真空系統(tǒng)

預(yù)熱溫度

400

爐管尺寸

Φ100mm

加熱元件

電阻絲

溫控系統(tǒng)

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,具有超溫和斷偶報警功能

加熱區(qū)長度

400mm

機械泵

BSV30,抽速30m3/h

真空計

成都正華,電阻規(guī)

真空范圍

≤100Pa

排氣接口

KF25/40

工控及操作系統(tǒng)

控制方式

15寸觸控屏

功能實現(xiàn)

整合設(shè)備各部件開關(guān),真空、加熱等控制,軟件通訊功能穩(wěn)定可靠,可視化溫度且數(shù)據(jù)實時記錄且可導(dǎo)出

30KW,整機使用電源380V,三相五線制;

三色燈

黃燈為待機,綠燈為運行,紅燈為報警

報警防護

超溫聲光報警

熱電偶故障聲光報警

生產(chǎn)結(jié)束聲光報警

前級泵異常聲光報警

配備機械式急停按鈕


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