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MAS4-BE 曝光系統(tǒng)一體機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) MAS4-BE
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/10/13 14:10:42
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1391

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     合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商。針對(duì)國(guó)家大力扶持的太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體等科技領(lǐng)域。

        我司有專業(yè)的檢測(cè)儀器和工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時(shí)我司與中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納加工平臺(tái)、合肥工業(yè)大學(xué)微納加工平臺(tái)保持技術(shù)上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問(wèn)題。

        我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務(wù),滿足客戶對(duì)自營(yíng)品牌的需求,讓客戶從而實(shí)現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運(yùn)營(yíng)。

        ‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):提供定制化服務(wù),滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費(fèi)。其中低速勻膠平穩(wěn),結(jié)束低粘度光阻勻膠依賴進(jìn)口品牌。

 

 

 

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設(shè)備

產(chǎn)品應(yīng)用:  

   MAS4-BE光刻系統(tǒng)一體機(jī)可實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用,集成化程度更高,占地面積更小。廣泛應(yīng)用于高校研究所實(shí)驗(yàn)的光刻工藝,可完成涂膠、烘烤、曝光、顯影工序。


工藝步驟:

涂膠(放片、滴膠、旋轉(zhuǎn)、取片)→烤機(jī)(放片、烘烤、取片)→曝光(放片、曝光、取片)→顯影(放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗、取片)→取片(轉(zhuǎn)移下道工序)。

控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)由PC和PLC控制模式,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中各工藝功能執(zhí)行情況。 可實(shí)現(xiàn)自由的配方編輯,自由修改、編輯、存儲(chǔ)、及調(diào)用工藝配方等。


技術(shù)參數(shù):

曝光系統(tǒng)一體機(jī)

外觀

不銹鋼

曝光

曝光模式:接觸式一次曝光


處理尺寸

Ф102mm


光源  4"LED 專用曝光頭


涂膠

轉(zhuǎn)速:20-10000RPM


紫外光中心波長(zhǎng):365nm



加減速度:350-10000RPM/S


操作方式:手動(dòng)



編程:50組20步

顯影

轉(zhuǎn)速:20-3000 R.P.M


烤膠

溫度:RT~300℃


擺臂:自動(dòng)



面板材質(zhì):鋁合金


配置:一路顯影、一路水




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