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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>勻膠機>MSC-75T 旋涂儀

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MSC-75T 旋涂儀

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 MSC-75T
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/10/13 13:52:01
  • 訪問次數(shù) 1733

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     合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設備的生產(chǎn)商。針對國家大力扶持的太陽能電池和半導體等科技領域。

        我司有專業(yè)的檢測儀器和工藝實驗設備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時我司與中國科學技術大學微納加工平臺、合肥工業(yè)大學微納加工平臺保持技術上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問題。

        我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務,滿足客戶對自營品牌的需求,讓客戶從而實現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運營。

        ‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢:提供定制化服務,滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費。其中低速勻膠平穩(wěn),結束低粘度光阻勻膠依賴進口品牌。

 

 

 

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設備

旋涂儀產(chǎn)品概述:

MSC-75T可編程勻膠機,采用分體式結構設計,外殼為金屬噴涂,白色美觀。PP耐腐蝕內腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設計,美觀大方。適合涂膠處理? 5~100mm圓晶尺寸基片。
該勻膠機結構緊湊、簡單易用,可編程實現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內操作。PP材料旋涂內腔,可直接取下來,方便清洗。

旋涂儀性能參數(shù):

適用晶元尺寸范圍:? 5~100mm;

旋涂速度:100~10000rpm;

轉速分辨率:1rpm;

旋涂加速度:100-10000rpm/s;

最大旋涂時間:3000s;

旋涂時間精度:0.1s;

勻膠機均勻性:≤±3%;

內腔直徑150mm,內腔采用凹面防濺設計;

操作界面:4.3寸觸摸屏;

語言選擇:可選擇中英文;

電機功率:100W直流無刷電機;

具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程10組程序,每組程序5步;

電源輸入:AC200-230;

產(chǎn)品外型尺寸:290mm(W)x 235mm(D) x 185mm(H);

重量:10KG;

附件:

標配吸盤:10mm、25mm、2英寸。其它吸盤可定制;

真空泵:一臺;

一次性內襯:一只;

國標電源線:一根(可選歐標、英標、美標等方便出口);

包裝:木箱。

產(chǎn)品特點:

設計緊湊,可輕松放置在手套箱內使用;

PP材料旋涂內腔,耐腐蝕;

采用分體式結構,易清潔和移動;

4.3英寸彩色觸屏控制,易學易用;

精確設置實驗參數(shù),運行狀態(tài)實時顯示;

經(jīng)CNC一體加工成型的PP內腔,內腔壁采用凹面設計,有效防濺;

采用高級PLC程序控制,可編程,實現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂;

具有電機進膠保護功能;管路易疏通設計。

保修:

所有機臺上新增或修改部分,其保固年限于采購合約中明定規(guī)范,需一年。

本設備、零件保固期為自驗收日起算12個月內或交機后15個月內。

支持分體式設計,支持擴展自動滴膠系統(tǒng),更多需求可聯(lián)系詳細溝通。





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