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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>干法工藝設(shè)備>干法清洗設(shè)備> Tergeo-Pro桌面等離子清洗機

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Tergeo-Pro桌面等離子清洗機

參考價 100000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

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韋氏納米(FIRSTNANO)是一家成立于2012年的德國公司,由三位材料學(xué)博士共同創(chuàng)辦?;凇?span style="padding: 0px; margin: 0px; list-style: none; font-size: 16px; color: rgb(255, 0, 0);">Science is international”的理念,三位創(chuàng)始人提出了“全球協(xié)同實驗室”的夢想,致力于推動全球科研合作與技術(shù)創(chuàng)新。韋氏納米專注于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域,始終秉持“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨,將技術(shù)引入?yún)f(xié)同實驗室,助力科學(xué)家實現(xiàn)突破性研究。


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自2015年香港(中華區(qū))公司成立以來,韋氏納米在中國穩(wěn)步發(fā)展,相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機構(gòu),形成了覆蓋全國的科研服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。我們的產(chǎn)品和服務(wù)涵蓋微納加工制程、材料科學(xué)的檢測與分析、生命科學(xué)成像、腦科學(xué)與行為認知等領(lǐng)域,為全球科研工作者提供技術(shù)支持與解決方案。

韋氏納米的愿景是“從科學(xué)家到科學(xué)家,科學(xué)開創(chuàng)美好未來”。我們堅信,科學(xué)無國界,全球科研工作者應(yīng)攜手合作,共同推動人類科技進步。韋氏納米不僅是一家科學(xué)儀器供應(yīng)商,更是全球科研生態(tài)的重要參與者。我們致力于通過“全球協(xié)同實驗室”的理念,將前沿技術(shù)與全球科研需求緊密結(jié)合,助力科學(xué)家實現(xiàn)更多研究成果。

韋氏納米匯聚了一支由高學(xué)歷、高素質(zhì)人才組成的國際化團隊。我們的團隊成員具備深厚的專業(yè)背景和豐富的行業(yè)經(jīng)驗。公司始終注重人才培養(yǎng)與引進,博士及碩士學(xué)歷人才占比超過70%。正是這支充滿激情與創(chuàng)造力的團隊,推動韋氏納米在科研儀器領(lǐng)域不斷進步,贏得了全球客戶的信任。

韋氏納米在中國設(shè)有完善的本地化服務(wù)體系,覆蓋售前、售中和售后全流程。我們在上海、深圳、武漢和香港均設(shè)有技術(shù)支持中心和樣機實驗室,為客戶提供及時響應(yīng)的技術(shù)支持和設(shè)備體驗。此外,我們還建立了高效的備件庫和物流體系,確??蛻裟軌颢@得所需的服務(wù)與支持。


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“不僅提供前沿的產(chǎn)品,更注重服務(wù)”是韋氏納米的核心價值。我們深知,科研儀器的價值不僅在于其技術(shù)性能,更在于其能否真正滿足科學(xué)家的研究需求。因此,我們始終以客戶為中心,致力于為每一位科研工作者提供定制化的解決方案。


公司愿景是從科學(xué)家到科學(xué)家,科學(xué)開創(chuàng)美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域,始終秉承“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨,將前沿技術(shù)引進到協(xié)同實驗室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程;材料科學(xué)的檢測、分析;生命科學(xué)成像,腦科學(xué)與行為認知等相關(guān)領(lǐng)域。作為全球科技前沿的儀器供應(yīng)商,FIRSTNANO具有全球技術(shù)視野、優(yōu)質(zhì)供應(yīng)體系、以及嚴格的質(zhì)量管控系統(tǒng),能為客戶提供前沿的技術(shù)解決方案。

公司服務(wù)的客戶領(lǐng)域廣泛,其中包括消費電子、航空、航天、醫(yī)藥技術(shù)、半導(dǎo)體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機構(gòu)。

在成長的過程中,我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港(中華區(qū))公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機構(gòu)。

我們真誠邀請業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚帆起航!










半導(dǎo)體儀器和電子產(chǎn)品耗材耗材

  Tergeo-Pro桌面等離子清洗機未來將腔室直徑增加到 9″(230 mm)。腔室的深度增加到 13.4″(430 mm)。
 
  清洗機足夠大,可以容納 8 英寸晶圓。它也足夠大的一個或兩個 25/50 插槽 6“或 4”石英晶圓船??梢跃哂?150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進行調(diào)整。射頻功率的頻率為 13.56MHz,這提供了比 KHz 射頻等離子體系統(tǒng)高得多的等離子體產(chǎn)生效率。不僅可以調(diào)節(jié)射頻功率瓦數(shù),還可以產(chǎn)生連續(xù)或脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%調(diào)整到小于 1%。石英腔室壁結(jié)構(gòu)使外部電容耦合射頻電極設(shè)計成為可能,從而在整個腔室中產(chǎn)生更均勻的等離子體。
 
  規(guī)格和特點:
 
  *Tergeo-Pro桌面等離子清洗機的應(yīng)用與較小的 Tergeo桌面等離子清洗機相似,不同之處在于它可以接受更大的樣品。以下是典型應(yīng)用的列表:
 
  光致抗蝕劑灰化、除渣和硅晶片清洗
 
  在引線鍵合、倒裝芯片封裝、PCB 封裝之前清潔芯片
 
  生物醫(yī)用涂層前的表面處理及提高醫(yī)用植入物的親水性
 
  環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)、玻璃、光纖頭和基板清潔
 
  PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室
 
  改善金屬對金屬或復(fù)合材料的粘合
 
  改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合
 
  產(chǎn)品特點:
 
  大樣品室(ID:9″/230 mm,深度:13.4″ /340 mm)。足以容納 8 英寸晶圓,一個或兩個 25/50 插槽 6″/4″石英晶圓舟。
 
  等離子體放電方法:電容耦合等離子體放電與外部彎曲放電電極。
 
  連續(xù)和脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%(連續(xù))變?yōu)樾∮?1%。Tergeo 等離子體系統(tǒng)不僅可以通過 1 瓦的間隔調(diào)整射頻功率,而且可以產(chǎn)生連續(xù)和脈沖等離子體。使等離子體強度改變幾個數(shù)量級以上。
 
  操作方式:自動配方執(zhí)行、自動作業(yè)順序執(zhí)行、手動操作。
 
  等離子體傳感器:等離子體強度傳感器實時監(jiān)測等離子體狀態(tài),并向用戶提供關(guān)于不同配方條件下等離子體強度的定量反饋。等離子體傳感器還可以監(jiān)測等離子體灰化過程的進展并用作終點指示器。等離子體強度實時顯示在 LCD 觸摸屏上。
 
  先進的過程控制功能:壓力傳感器、溫度傳感器、MFC 氣體流量計、等離子體強度傳感器、自動阻抗匹配。
 
  滅菌室設(shè)計:鋁法蘭和厚壁高純度石英管增強了耐化學(xué)性,減少了派熱克斯玻璃中的堿性雜質(zhì)(Ca、K、Na)。
 
  樣品保持器:4mm 厚高純石英板,尺寸:220 mm X 280 mm。
 
  腔體尺寸:內(nèi)徑:9″/230 mm;外徑:9. 44 ″/240 mm;深度:13. 4 ″/340 mm。
 
  RF 電極:圍繞石英管纏繞的外部電容耦合 RF 電極。外部射頻電極設(shè)計能夠?qū)崿F(xiàn)更大、更均勻的等離子體體積,并且還消除了與內(nèi)部金屬射頻電極設(shè)計相關(guān)的離子濺射和加熱問題。
 
  射頻電源:13.56MHz 高頻射頻電源,具有自動阻抗匹配功能。射頻功率有三種選擇:13.56MHz 時的 150 瓦、300 瓦和 500 瓦。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進行調(diào)整。13.56 與低效率、低成本的 KHz 電源相比,MHz 射頻電源產(chǎn)生的等離子體密度要高得多。
 
  氣體輸入:多達三個 MFC 控制氣體輸入(0~ 100 sccm)。一個額外的端口用于通風(fēng)和吹掃。1/4 英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。
 
  用戶界面:7 英寸電阻式觸摸屏,用手指觸摸,無需手寫筆。
 
  食譜和工作支持:共有 20 個可定制的食譜。作業(yè)序列中最多三個清潔步驟。
 
Tergeo-Pro桌面等離子清洗機
要求:
 
  交流輸入:110 V ~ 230 V 通用交流電源支持。
 
  泵口:NW/KF 25。
 
  抽真空速度:3.5 cfm 或更高。
 
  真空泵的極限壓力:50 mTorr 或更低。

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