CS316 熱式數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/31 16:53:40
- 訪問次數(shù) 172
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創(chuàng)新點
電化學(xué)拋光技術(shù)
采用電化學(xué)拋光技術(shù)進行表面處理，機械部件內(nèi)部表面粗糙度均達到5uinch Ra，具有的耐腐蝕性能。
恒功率傳感技術(shù)
傳感器采用對稱設(shè)計，保持上下游熱傳導(dǎo)平衡，選用高性能保溫材質(zhì)，有效抑制零漂現(xiàn)象。
壓力補償技術(shù)
壓力補償技術(shù)在32位高主頻MCU的加持下，使得流量運算和調(diào)節(jié)速度顯著提升，當MFC前端壓力波動時能夠有效避免流量波動，從而保證流量能穩(wěn)定且精準的控制。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
清潔能源—光伏
技術(shù)指標
| 型號 | CS316 |
| 流量規(guī)格(N?) | (0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM |
| 準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional)
±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional) |
| 漏率 | ≤5×10¹² Pa·m³/s |
| 響 應(yīng) 時 間 | ≤0.7 sec |
| 工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa流量規(guī)格≤10SLM
0.15~0.35MPa 流量規(guī)格>10SLM |
| 溫 度 系 數(shù) | 零點: ≤±0.02%F.S./℃; 調(diào)節(jié)時: ≤±0.05%F.S./℃ |
| 重 復(fù) 精 度 | ±0.2%F.S. |
| 線性 | ±0.5%F.S. |
| 壓力瞬變靈敏度 | 10~100sccm±(5%S.P+1%F.S.) 【3PSI/秒】
100~10SLM±(1%S.P+1%F.S.) 【5PSI/秒】 |
| 耐壓 | 3.5 MPa |
| 密 封 材 料 | 金屬密封 |
| 工作環(huán)境溫度 | (0~50) ℃ |
| 輸 入 信 號 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 輸 出 信 號 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 電源 | ±8~±16 VDC(雙極)或+14~+28 VDC (單極) |
| 標準接頭形式 | VCR1/4陽接頭;1.125"C型密封接頭;1.125"W型密封接頭 |
采購中心
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