MKY-SD-900M 磁控濺射儀
- 公司名稱 麥科儀（北京）科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/8/7 13:06:17
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
MKY-SD-900M 磁控濺射儀
原理：
在磁控濺射中，由于運(yùn)動(dòng)電子在磁場(chǎng)中受到洛侖茲力，它們的運(yùn)動(dòng)軌跡會(huì)發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運(yùn)動(dòng)，其運(yùn)動(dòng)路徑變長(zhǎng)，因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù)，使等離子體密度增大，從而磁控濺射速率得到很大的提高，而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作，降低薄膜污染的傾向；另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量，因而可以在很大程度上改善薄膜的質(zhì)量。同時(shí)，經(jīng)過(guò)多次碰撞而喪失能量的電子到達(dá)陽(yáng)極時(shí)，已變成低能電子，從而不會(huì)使基片過(guò)熱。
技術(shù)參數(shù)：
主機(jī)規(guī)格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）
靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）
靶材：Au（標(biāo)配）
樣品室：硼硅酸鹽玻璃 160mm×120mm（D×H）
靶材尺寸：Ф50mm
真空指示表：高真空度：≤ 4X10-2mbar
離子電流表：大電流：100mA
定時(shí)器：長(zhǎng)時(shí)間：0-360S
微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管
可通入氣體：多種
高電壓： -1600DCV
機(jī)械泵：標(biāo)準(zhǔn)配置 2L/S（國(guó)產(chǎn) VRD-8）
用途：適用于電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。
特點(diǎn)：
1、經(jīng)濟(jì)、外觀精美。
2、成膜速
3、基片溫度低。
4、膜的粘附性好。
5、可實(shí)現(xiàn)大面積鍍膜。
6、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強(qiáng)以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。
7、SETPLASMA 手動(dòng)啟動(dòng)按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強(qiáng)和濺射電流避免對(duì)膜造成不必要的損傷。
8、真空保護(hù)可避免真空過(guò)低造成設(shè)備短路。
MKY-SD-900M 磁控濺射儀
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