自動(dòng)檢測(cè)晶圓檢查顯微鏡是一款專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的精密檢測(cè)設(shè)備，集成了多種功能模塊，旨在提供高效、精準(zhǔn)、全面的晶圓檢測(cè)能力。該系統(tǒng)由XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)、Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)、物鏡模組、光源模組、晶圓放置模組、成像觀察模組、遠(yuǎn)程控制手柄、主動(dòng)對(duì)焦模組、缺陷標(biāo)記模組及晶圓搬運(yùn)模組等組成，能夠滿足從晶圓形貌觀察到缺陷標(biāo)記、搬運(yùn)等全流程檢測(cè)需求。

核心模塊介紹。XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)：XY運(yùn)動(dòng)臺(tái)具備高精度與寬行程特點(diǎn)，定位精度≤2 μm，行程范圍為205 mm × 205 mm，支持大范圍內(nèi)的精確定位。配備離合器手柄，可快速移動(dòng)，顯著提升操作效率。Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)：Z軸采用電傳手輪與碼盤雙控系統(tǒng)，微調(diào)精度≤1 μm，行程≥36 mm，滿足高精度調(diào)焦需求，適用于各類精細(xì)觀察場(chǎng)景。物鏡模組：采用蔡司原裝手動(dòng)/電動(dòng)物鏡切換裝置，兼容多種物鏡，包括EpiPlan消色差物鏡、EPN半復(fù)消色差物鏡及EPA復(fù)消色差物鏡，確保成像清晰、無(wú)畸變。光源模組：提供5W與10W LED透射式光源選項(xiàng)，可根據(jù)不同檢測(cè)需求靈活調(diào)節(jié)，保證圖像亮度與對(duì)比度。晶圓放置模組：載物臺(tái)兼容4英寸、6英寸及8英寸晶圓片，同時(shí)保留透射光路，支持液晶面板檢測(cè)，具備適配性與靈活性。成像觀察模組：支持蔡司Axiocam系列與?？低曄盗邢鄼C(jī)適配，并可選配蔡司目鏡，提供明場(chǎng)/暗場(chǎng)、微分干涉、熒光及偏光等多種觀察方式，滿足多樣化成像需求。遠(yuǎn)程控制手柄：集成物鏡切換、光強(qiáng)控制、照明切換、Z軸聚焦、XY軸遙感、缺陷標(biāo)記及主動(dòng)對(duì)焦等功能，實(shí)現(xiàn)一鍵式遠(yuǎn)程操作，大幅提升使用便捷性。主動(dòng)對(duì)焦模組：支持實(shí)時(shí)對(duì)焦功能，尤其在50×物鏡下可保持持續(xù)清晰成像，適用于長(zhǎng)時(shí)間觀察與動(dòng)態(tài)檢測(cè)。缺陷標(biāo)記模組：可對(duì)樣品缺陷部位進(jìn)行實(shí)時(shí)標(biāo)記，便于后續(xù)分析與處理，提高缺陷管理效率。晶圓搬運(yùn)模組：支持自動(dòng)上下料功能，實(shí)現(xiàn)晶圓片的自動(dòng)化搬運(yùn)，有效提升生產(chǎn)效率與檢測(cè)流程連續(xù)性。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)介紹。高精度：各運(yùn)動(dòng)軸及物鏡切換裝置均具備微米級(jí)精度，確保檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性。多功能：集成多種觀察方式與輔助功能，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的檢測(cè)需求。易操作：遠(yuǎn)程控制手柄設(shè)計(jì)人性化，功能集成度高，操作簡(jiǎn)便快捷。兼容性強(qiáng)：支持多種尺寸晶圓片與主流相機(jī)設(shè)備，適應(yīng)性強(qiáng)，可靈活應(yīng)對(duì)不同檢測(cè)任務(wù)。

應(yīng)用領(lǐng)域：自動(dòng)檢測(cè)晶圓檢查顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、液晶面板檢測(cè)、材料科學(xué)研究等領(lǐng)域，為各類精密檢測(cè)需求提供強(qiáng)有力的技術(shù)支持，助力提升產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。