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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>CY-300SS-4 四噴頭超聲波勻膠機(jī)旋涂機(jī)

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CY-300SS-4 四噴頭超聲波勻膠機(jī)旋涂機(jī)

參考價(jià) 350000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點(diǎn)專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請了多位國內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時(shí)刻與國內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界好評。

如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠信、實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。







磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂儀,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),

四噴頭超聲波勻膠機(jī)旋涂機(jī)是一款用于在基片上涂覆光刻膠或其他功能性液體的gaoduan、高精度的半導(dǎo)體及微納加工設(shè)備。它代表了勻膠技術(shù)的最新發(fā)展方向,尤其適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)和非平面襯底的涂膠

傳統(tǒng)勻膠機(jī)通常只有一個(gè)固定的滴膠頭或靜態(tài)噴頭,通過中心滴膠或靜態(tài)噴灑的方式將光刻膠覆蓋在基片上,然后通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力使膠體鋪展均勻。

四噴頭超聲波勻膠機(jī)則是一種革命性的設(shè)計(jì)。它集成了以下核心部件:

四個(gè)獨(dú)立的超聲波壓電噴頭:這是其名稱的由來。每個(gè)噴頭都是一個(gè)獨(dú)立的、精密的液體分配單元。

高精度機(jī)械臂:這四個(gè)噴頭被安裝在一個(gè)多自由度的機(jī)械臂上,可以精確控制噴頭在基片上方進(jìn)行復(fù)雜的三維運(yùn)動(dòng)。

超聲波霧化技術(shù):利用高頻超聲波振動(dòng)將液體“撕裂”成極其微小且均勻的霧狀液滴(通常直徑在微米級別),然后通過載氣將其噴射出去。

協(xié)同控制系統(tǒng):一個(gè)復(fù)雜的軟件系統(tǒng),可以同步控制每個(gè)噴頭的開關(guān)、流量、以及機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)軌跡。

一.工作原理簡述:

它不是簡單地將膠水滴在中心,而是像一臺(tái)“3D打印機(jī)”或“噴墨打印機(jī)”一樣,通過程序控制四個(gè)噴頭,按照預(yù)設(shè)的路徑在基片表面進(jìn)行掃描式噴涂。每個(gè)噴頭可以獨(dú)立工作,也可以協(xié)同作業(yè),從而實(shí)現(xiàn)qian所未有的涂覆均勻性和靈活性。

二.核心優(yōu)勢:

與傳統(tǒng)勻膠機(jī)相比,四噴頭超聲波勻膠機(jī)具有壓倒性的優(yōu)勢:

1.jigao的均勻性:

2.zuo越的臺(tái)階覆蓋性與保形性:

3.ji高的材料利用率:

4.出色的兼容性與靈活性:

5.減少缺陷:

三.機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域:

由于其獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢,四噴頭超聲波勻膠機(jī)主要應(yīng)用于對涂膠工藝要求ji高的前沿科技領(lǐng)域:

1.*半導(dǎo)體制造:

2.MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))

3.化合物半導(dǎo)體與功率器件:

4.光子器件與光學(xué)元件:

5.顯示技術(shù):

6.科研與前沿探索:

四.四噴頭超聲波勻膠機(jī)旋涂機(jī)技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

四噴頭超聲波勻膠機(jī)

產(chǎn)品型號

CY-300SS-4

勻膠機(jī)

圓晶尺寸

12英寸

腔體材質(zhì)

聚四氟

加熱溫度

≤200℃(可以用一個(gè)小時(shí))

溫控精度

+/-   0.1oC

加熱方式

紅外線加熱元件

涂層持續(xù)時(shí)間

0-60   秒(可調(diào))

涂層厚度

100nm(取決于您的加工工藝)

旋轉(zhuǎn)速度

30~6000rpm可調(diào)

旋轉(zhuǎn)加速度

30~2000rpm/s可調(diào)

轉(zhuǎn)速分辨率

1rpm

單次最長勻膠時(shí)間

3000s

真空吸盤

一塊   2.5x2.5cm,一塊 10x10cm

控溫方式

AIP   智能溫控

操作方式

7   英寸高清 LCD 觸摸屏

控制面板

高清觸摸屏 PLC 控制面板可設(shè)置噴霧、脫水程序和溫控

點(diǎn)膠機(jī)專用純機(jī)械吸盤

12   英寸一塊(需額外定制);6 英寸一塊(需額外定制)

無油真空泵

型號:AP-2000V

功率:0.55kw

zui低真空度:-700mmHg-92Kpa

最大氣流量:200L/min;12M3/h

重量:10kg

外形尺寸

1200x1000x1050mm

超聲波系統(tǒng)

數(shù)量

4個(gè)

霧化頭材質(zhì)

鈦合金

頻率

120kHz

功率

130W

流量

0.01-20ml/min

微粒直徑

20-25um

噴涂寬度

2-20mm

霧化頭類型

錐型

注射泵

流量范圍

50mL/min

注射泵規(guī)格

10ml  精度+/- 0.01 mL

注射泵規(guī)格

100mL   精度+/- 0.01 mL

線速度范圍

5um/min-65um/min

線速度調(diào)節(jié)分辨率

5um/min

最大行程

140mm

行程分辨率

0.156um

額定線性推力

90N

流量計(jì)

控制氣體種類

2

氣體流速

16-160mL/min

 




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