CY-300SS-4 四噴頭超聲波勻膠機(jī)旋涂機(jī)
| 參考價(jià) | ¥ 350000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-300SS-4
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/11/18 11:18:21
- 訪問次數(shù) 171
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂儀,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),
四噴頭超聲波勻膠機(jī)旋涂機(jī)是一款用于在基片上涂覆光刻膠或其他功能性液體的gaoduan、高精度的半導(dǎo)體及微納加工設(shè)備。它代表了勻膠技術(shù)的最新發(fā)展方向,尤其適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)和非平面襯底的涂膠
傳統(tǒng)勻膠機(jī)通常只有一個(gè)固定的滴膠頭或靜態(tài)噴頭,通過中心滴膠或靜態(tài)噴灑的方式將光刻膠覆蓋在基片上,然后通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力使膠體鋪展均勻。
四噴頭超聲波勻膠機(jī)則是一種革命性的設(shè)計(jì)。它集成了以下核心部件:
四個(gè)獨(dú)立的超聲波壓電噴頭:這是其名稱的由來。每個(gè)噴頭都是一個(gè)獨(dú)立的、精密的液體分配單元。
高精度機(jī)械臂:這四個(gè)噴頭被安裝在一個(gè)多自由度的機(jī)械臂上,可以精確控制噴頭在基片上方進(jìn)行復(fù)雜的三維運(yùn)動(dòng)。
超聲波霧化技術(shù):利用高頻超聲波振動(dòng)將液體“撕裂”成極其微小且均勻的霧狀液滴(通常直徑在微米級別),然后通過載氣將其噴射出去。
協(xié)同控制系統(tǒng):一個(gè)復(fù)雜的軟件系統(tǒng),可以同步控制每個(gè)噴頭的開關(guān)、流量、以及機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)軌跡。
一.工作原理簡述:
它不是簡單地將膠水滴在中心,而是像一臺(tái)“3D打印機(jī)”或“噴墨打印機(jī)”一樣,通過程序控制四個(gè)噴頭,按照預(yù)設(shè)的路徑在基片表面進(jìn)行掃描式噴涂。每個(gè)噴頭可以獨(dú)立工作,也可以協(xié)同作業(yè),從而實(shí)現(xiàn)qian所未有的涂覆均勻性和靈活性。
二.核心優(yōu)勢:
與傳統(tǒng)勻膠機(jī)相比,四噴頭超聲波勻膠機(jī)具有壓倒性的優(yōu)勢:
1.jigao的均勻性:
2.zuo越的臺(tái)階覆蓋性與保形性:
3.ji高的材料利用率:
4.出色的兼容性與靈活性:
5.減少缺陷:
三.機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域:
由于其獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢,四噴頭超聲波勻膠機(jī)主要應(yīng)用于對涂膠工藝要求ji高的前沿科技領(lǐng)域:
1.*半導(dǎo)體制造:
2.MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))
3.化合物半導(dǎo)體與功率器件:
4.光子器件與光學(xué)元件:
5.顯示技術(shù):
6.科研與前沿探索:
四.四噴頭超聲波勻膠機(jī)旋涂機(jī)技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 四噴頭超聲波勻膠機(jī) | |
產(chǎn)品型號 | CY-300SS-4 | |
勻膠機(jī) | 圓晶尺寸 | 12英寸 |
腔體材質(zhì) | 聚四氟 | |
加熱溫度 | ≤200℃(可以用一個(gè)小時(shí)) | |
溫控精度 | +/- 0.1oC | |
加熱方式 | 紅外線加熱元件 | |
涂層持續(xù)時(shí)間 | 0-60 秒(可調(diào)) | |
涂層厚度 | ≤100nm(取決于您的加工工藝) | |
旋轉(zhuǎn)速度 | 30~6000rpm可調(diào) | |
旋轉(zhuǎn)加速度 | 30~2000rpm/s可調(diào) | |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm | |
單次最長勻膠時(shí)間 | 3000s | |
真空吸盤 | 一塊 2.5x2.5cm,一塊 10x10cm | |
控溫方式 | AIP 智能溫控 | |
操作方式 | 7 英寸高清 LCD 觸摸屏 | |
控制面板 | 高清觸摸屏 PLC 控制面板可設(shè)置噴霧、脫水程序和溫控 | |
點(diǎn)膠機(jī)專用純機(jī)械吸盤 | 12 英寸一塊(需額外定制);6 英寸一塊(需額外定制) | |
無油真空泵 | 型號:AP-2000V 功率:0.55kw zui低真空度:-700mmHg;-92Kpa 最大氣流量:200L/min;12M3/h 重量:10kg | |
外形尺寸 | 1200x1000x1050mm | |
超聲波系統(tǒng) | 數(shù)量 | 4個(gè) |
霧化頭材質(zhì) | 鈦合金 | |
頻率 | 120kHz | |
功率 | 130W | |
流量 | 0.01-20ml/min | |
微粒直徑 | 20-25um | |
噴涂寬度 | 2-20mm | |
霧化頭類型 | 錐型 | |
注射泵 | 流量范圍 | 50mL/min |
注射泵規(guī)格 | 10ml 精度+/- 0.01 mL | |
注射泵規(guī)格 | 100mL 精度+/- 0.01 mL | |
線速度范圍 | 5um/min-65um/min | |
線速度調(diào)節(jié)分辨率 | 5um/min | |
最大行程 | 140mm | |
行程分辨率 | 0.156um | |
額定線性推力 | >90N | |
流量計(jì) | 控制氣體種類 | 2種 |
氣體流速 | 16-160mL/min | |



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