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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>常用儀表>光學(xué)儀表>反射儀> KOSAKA小坂致東Radiation全光譜反射儀

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KOSAKA小坂致東Radiation全光譜反射儀

參考價(jià) 5000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 江西欣罡科技有限公司
  • 品牌 KOSAKA/小坂研究所
  • 型號
  • 產(chǎn)地 日本
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2025/12/31 15:12:06
  • 訪問次數(shù) 168

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合



項(xiàng)目

內(nèi)容

規(guī)格概述

1

波長范圍

420~1000nm

2

Resolution

1 nm

3

膜厚測定范圍

250 A- 20 um

4

膜厚測定精度

T=±5A, N=±0.02 based on SiO2 1100A standard wafer

5

膜厚測定重復(fù)性

SR Thickness repeatability: ≤ 1? (1?) (at 1100?, SiO2/Si)

6

測定光源

鹵素?zé)襞?/span>( Constant Current Power Supply)

7

透明基板里面反射補(bǔ)正機(jī)能

包括透明基板背后反射的修正(軟件)

8

測定SPOT(Spot Size )

50 um Diameter ( 20 X Objective ) , can be smaller with less signal / noise ratio

9

Tact time

2S(測試1S+分析1S

KOSAKA小坂致東Radiation全光譜反射儀

●  緊湊型膜厚量測設(shè)備

●  安裝移動(dòng)迅速便捷

●  適用于所有非金屬膜質(zhì)

●  多樣化的應(yīng)用選擇

●  工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)端口

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