俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/12/4 14:07:24
- 訪問次數(shù) 37
薄膜半導(dǎo)體材料制備系統(tǒng)超高真空組件深能級瞬態(tài)譜儀材料表征設(shè)備俄歇電子能譜(AES)
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng),又稱俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表面深度分析系統(tǒng)?;诙硇娮幽茏VAES、低能電子衍射LEED、及氬離子濺射深度分布的分析系統(tǒng),完成對薄膜及合金的元素組成和深度分布的分析。
非接觸式測量薄膜及合金元素組成。
帶樣品預(yù)抽真空室 (load-lock腔室)。
俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)?特性:
-對原子結(jié)構(gòu),元素組成和厚度分析達(dá)到“亞納米級”精度
-大范圍樣品分析
-半自動化操作
系統(tǒng)特性
俄歇電子能譜AES分析器
分析器型號-延遲型區(qū)域分析器,自帶同軸電子槍
能量分辨率:<5%
工作距離 10mm
檢測器: 1e7至1e8增幅范圍的電子倍增器通道
安裝法蘭-4.5英寸O.D.標(biāo)準(zhǔn)CF法蘭(NW63CF)
電子槍:
型號 :帶可調(diào)焦距和束斑直徑的雙靜電透鏡
束流電壓:0-3KV
束流電流:最大50uA
束流直徑:最大800um
燈絲:鎢燈絲
磁罩:帶前置保護(hù)殼的Mu罩
深度離子濺射槍
離子源 在磁場內(nèi)電子沖擊形成離子
離子化陰極 鎢-錸燈絲
直接安裝于70mmO.D.CF法蘭
束流電流:最大10 uA
束流能量:0-3keV
束流尺寸;直徑范圍5至25mm
束流均勻度:<5%
氣體輸入:經(jīng)過泄漏閥氣體直接輸入至離子源
安裝法蘭:23/4英寸(70mm)O.D.CF法蘭
樣品傳遞操作
樣品尺寸:尺寸從10mm-20mm
樣品置入:單個(gè)樣品置入
樣品傳輸:線型磁動樣品傳輸臂
真空系統(tǒng)
腔體:100mm焊接超高真空腔體(304不銹鋼)
真空泵:60L/sec離子泵和50l/sec的分子泵,配備匹配的前級泵
真空規(guī):寬量程真空規(guī)
真空兼容:超高真空材料
烘烤:真空下可最高烘烤至250度
俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)




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