硅片預(yù)清洗機 若名芯
| 參考價 | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 若名芯半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 江蘇省蘇州市張家港市鳳凰鎮(zhèn)金鳳凰微納產(chǎn)業(yè)園
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/11/24 16:13:21
- 訪問次數(shù) 27
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 非標(biāo)定制 | 根據(jù)客戶需求定制 |
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硅片預(yù)清洗機是半導(dǎo)體制造與光伏產(chǎn)業(yè)中用于去除硅片表面污染物的核心設(shè)備，其通過物理和化學(xué)方法確保硅片達(dá)到納米級潔凈度。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，它主要用于光刻、氧化等前道工序的預(yù)處理，清除顆粒、金屬離子及有機物，防止后續(xù)工藝缺陷；而在光伏產(chǎn)業(yè)上，則聚焦于硅片切割、拋光后的清潔，提升太陽能電池效率。
該設(shè)備集成多種清洗技術(shù)：兆聲波（MHz級）高頻空化效應(yīng)可剝離亞微米顆粒，高壓噴淋實現(xiàn)沖刷，再配合SC-1/SC-2等化學(xué)溶液（如NH?OH+H?O?混合液）氧化分解污染物。智能控制系統(tǒng)能精準(zhǔn)調(diào)控溫度（±0.1℃）、噴淋壓力（0.1–0.5MPa）及時間參數(shù)，適應(yīng)不同尺寸硅片需求。結(jié)構(gòu)設(shè)計上，防腐材質(zhì)槽體（PTFE/PFA）避免二次污染，停頓旋轉(zhuǎn)組件確保平穩(wěn)運行，防止薄脆硅片變形。
此外，配備激光粒子計數(shù)器實時監(jiān)測＞0.1μm顆粒，結(jié)合UF/MF過濾系統(tǒng)循環(huán)利用清洗液，兼顧高潔凈度與環(huán)保要求。
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