真空泵 日本EBARA荏原 華南一級代理
真空泵 日本EBARA荏原 華南一級代理

產(chǎn)品特點

• 干式無油技術(shù)：采用非接觸式密封技術(shù)，無需油或液體密封，避免了油和水的回流與擴散，能實現(xiàn)清潔真空，滿足半導(dǎo)體、食品等對潔凈度要求嚴苛的行業(yè)需求。

• 高可靠性與廣泛真空度范圍：可適應(yīng)從大氣壓到高真空的范圍，真空度可達 10?12Torr，能滿足各種不同制程的需求，在半導(dǎo)體制造的刻蝕、離子注入等高真空工藝中表現(xiàn)穩(wěn)定。

• 高效節(jié)能：獨特的優(yōu)化轉(zhuǎn)子設(shè)計提高了壓縮效率，降低了功耗。部分型號還集成變頻調(diào)速系統(tǒng)，可根據(jù)負載動態(tài)調(diào)節(jié)電機功率，能耗降低 20% 以上。

• 模塊化與擴展性：支持多級串聯(lián)或并聯(lián)，抽速范圍覆蓋 10-1000m3/h，可適配不同真空需求。同時，采用快速拆卸設(shè)計，更換核心部件耗時可縮短至 2 小時內(nèi)，減少停機損失。

• 耐腐蝕性能：泵體采用陶瓷涂層、不銹鋼等全密封結(jié)構(gòu)，部分型號還可進行鍍鎳或 PTFE 涂層等特殊防腐處理，能耐受 Cl?、H?S 等酸性氣體和有機溶劑的腐蝕，適用于化工、制藥等行業(yè)。

主要產(chǎn)品型號及參數(shù)

• EV-PA 型：是小型、輕量、節(jié)能的空冷干式真空泵，無需冷卻水，可使用單相 100V-240V 電源。以 EV-PA250 為例，排氣速度為 230L/min，到達底壓為 0.5Pa，重量僅 16kg。

      ESA500W 型：采用變螺距螺桿設(shè)計，抽速范圍為 500-1000m3/h，極限真空可達 0.1Pa，排氣溫度控制在 60℃以下，背壓耐受能力達 0.3barg，適用于半導(dǎo)體、光伏等領(lǐng)域的大型腔室高速排氣。
      EV-X 型：適用于中等負荷工藝，配備荏原獨特的節(jié)能技術(shù)，采用模塊化設(shè)計，具有寬范圍溫度控制能力，可覆蓋多種工藝。其體積小巧，能耗低，且具備耐腐蝕性能。
      EV-M802N 型：極限壓力為 0.45Pa，具有高節(jié)能性能，標配耐腐蝕材料，可處理高負載過程，適用于半導(dǎo)體、化工、制藥等多個行業(yè)。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體與電子行業(yè)：在晶圓制造的刻蝕、薄膜沉積、離子注入等工藝，以及芯片封裝測試環(huán)節(jié)廣泛應(yīng)用，為工藝提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，確保產(chǎn)品質(zhì)量。

• 光伏行業(yè)：在太陽能電池生產(chǎn)的 PECVD、擴散爐等設(shè)備中，幫助抽取氣體，實現(xiàn)高效電池制造。

• 化工與制藥行業(yè)：用于溶劑回收、真空干燥、原料藥生產(chǎn)等工藝，既能避免腐蝕性氣體對泵體的損害，又能滿足醫(yī)藥行業(yè)的高潔凈要求。

• 食品與飲料行業(yè)：在真空包裝、濃縮與凍干等工藝中發(fā)揮作用，可避免油污污染食品，延長食品保質(zhì)期。

• 科研與分析儀器：為質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等提供高真空環(huán)境，確保儀器的準確測量和成像質(zhì)量。