中圖儀器SuperViewW系列3D光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重復(fù)性（STR）、0.005nm粗糙度RMS重復(fù)性，連續(xù)10次測(cè)量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)。無(wú)論是納米級(jí)臺(tái)階高度、微觀幾何輪廓，還是超光滑表面粗糙度，均能精準(zhǔn)量化，為工藝調(diào)整提供可信的量化依據(jù)。

一、解決四大核心測(cè)量痛點(diǎn)

二、應(yīng)用場(chǎng)景

1.半導(dǎo)體制造：適配硅晶片研磨減薄后的粗糙度檢測(cè)、光刻槽道輪廓測(cè)量，助力頭部企業(yè)工藝良率提升8%，檢測(cè)數(shù)據(jù)通過(guò)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，滿足供應(yīng)鏈合規(guī)要求。

2.3C電子：精準(zhǔn)測(cè)量手機(jī)玻璃屏粗糙度、金屬殼模具瑕疵、油墨屏高度差，批量檢測(cè)報(bào)表支持Word/Excel/PDF格式自動(dòng)導(dǎo)出，適配化供應(yīng)鏈質(zhì)檢存檔需求。

3.光學(xué)加工：量化納米臺(tái)階高度、光學(xué)元件表面輪廓，916.5nm臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性達(dá)0.08%，幫助企業(yè)產(chǎn)品合格率從92%提升至99.2%。

4.汽車零部件：檢測(cè)精密軸承孔隙間隙、齒輪表面磨損輪廓，在復(fù)雜車間環(huán)境中保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定，某車企質(zhì)檢周期縮短50%。

三、應(yīng)用領(lǐng)域圖片

四、核心配置

1. 自研軟件平臺(tái)：Xtremevision Pro支持多機(jī)型自動(dòng)識(shí)別，白光干涉與共聚焦模式自由切換，可直接測(cè)量微觀輪廓的距離、角度等參數(shù)。

2. 靈活硬件配置：320×200mm載物臺(tái)（負(fù)載10kg），標(biāo)配10×干涉物鏡，可選2.5×-100×鏡頭，適配不同尺寸、類型工件。

3. 安全與便捷：集成式操縱桿控制XYZ軸、速度及光源亮度，急停功能一鍵觸發(fā)，新手培訓(xùn)1天即可獨(dú)立操作。

SuperViewW系列3D光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器高精度、高效率、高適配、低運(yùn)維，是精密制造企業(yè)的選擇檢測(cè)設(shè)備。如需獲取產(chǎn)品演示視頻、行業(yè)專屬方案或免費(fèi)樣品測(cè)試，歡迎聯(lián)系客服。

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置以實(shí)際交付為準(zhǔn)，中圖儀器保留根據(jù)技術(shù)升級(jí)調(diào)整的權(quán)利，恕不另行通知。