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詳細(xì)介紹
◆SV-3100S4輪廓儀大幅度提高了驅(qū)動(dòng)速度（X軸：80mm/s Z2軸：20mm/s），近一步降低了總測(cè)量時(shí)間。
◆SV-3100S4輪廓儀為了在一定時(shí)段內(nèi)維持儀器的直線度精度規(guī)格，三豐公司才用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。
◆SV-3100S4輪廓儀大量的外圍設(shè)備支持CNC模式，從而可以很容易實(shí)現(xiàn)CNC測(cè)量。
◆SV-3100S4輪廓儀驅(qū)動(dòng)裝置（X軸）和立拄（Z2軸）中集成了高精度光柵尺（Z2軸為ABS型），從而提高了在垂直方向持續(xù)自動(dòng)測(cè)量小孔和不易定位工件的重復(fù)精度。
◆SV-3100S4輪廓儀的X軸精度：±（0.8+0.01L）μm Z1軸精度：±（0.8+|0.5H|/25）μm *（CV-4100S4、H4、W4），針對(duì)高精度工件的測(cè)量所設(shè)計(jì)。 L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 H為測(cè)量高度
◆CV-4100系列的驅(qū)動(dòng)裝置集成了Laser Hologage檢位器，在Z軸（垂直方向）的窄/寬測(cè)量范圍內(nèi)，提供的精度和分辨率。
| X軸 | |
| 測(cè)量范圍 | 100mm |
| 分辨率 | 0.05um |
| 檢測(cè)方法 | 反射型線性編碼器 |
| 驅(qū)動(dòng)速度 | 80mm/s和手動(dòng) |
| 測(cè)量速度 | 0.02-5mm/s |
| 移動(dòng)方向 | 向前/向后 |
| 直線度 | 0.8um/100mm,2um/200mm *當(dāng)X軸在水平方向上 |
| 指示精度 （20°C時(shí)） | ± （1+0.01L）um *L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm） |
| 傾斜范圍 | ±45° |
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| Z2軸（立柱） | |
| 垂直行程 | 300mm |
| 分辨率 | 1um |
| 檢測(cè)方法 | ABSOLUTE線性編碼器 |
| 驅(qū)動(dòng)速度 | 0-20mm/s和手動(dòng) |
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| Z1軸（檢測(cè)器） | |
| 測(cè)量范圍 | ±25mm |
| 分辨率 | 0.2um |
| 檢測(cè)方法 | 線性編碼器 |
| 指示精度 （20°C時(shí)） | ± （2+|4H|/100）um *H為水平位置上的測(cè)量高度（mm） |
| 測(cè)針上/下運(yùn)作 | 弧形運(yùn)動(dòng) |
| 測(cè)針方向 | 向上/向下 |
| 測(cè)力 | 30mN |
| 跟蹤角度 | 向上：77°、向下：87°（根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針） |
| 測(cè)針針尖 | 半徑：25um、硬質(zhì)合金針尖 |
| 電源 | 100-240VAC±10%,50/60Hz |
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