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北京海富達科技有限公司
主營產(chǎn)品： 臭氧檢測儀,環(huán)境檢測儀器,水質(zhì)分析儀/ORP測定儀/溶解氧 |
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聯(lián)系電話
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北京海富達科技有限公司
主營產(chǎn)品： 臭氧檢測儀,環(huán)境檢測儀器,水質(zhì)分析儀/ORP測定儀/溶解氧 |
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| 參考價 | ￥ 5980 |
| 訂貨量 | 1 臺 |
更新時間：2025-07-22 09:20:06瀏覽次數(shù)：1057
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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質(zhì)量流量控制器報價質(zhì)量流量控制器報價型號:D07-26C庫號：M410142 流量控制器型號：D07-26C
卡套連接用途和特點質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行測量；質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)境和真空等多種行業(yè)的科研和中有著重要的應(yīng)用。其應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
D07 系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計具有重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便,可任*意位置安裝, 并便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。D07 系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計一般與 D08 系列流量顯示儀等產(chǎn)品配套使用,控制器與顯示儀之間用配套用電纜連接。主要技術(shù)指標型號：D07-26C流量規(guī)格：(20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10) SLM準確度：±1.5 % F.S.線性：±1% F.S.重復(fù)精度：±0.2 % F.S.響應(yīng)時間：≤10 sec工作壓差范圍：0.1~0.5 MPa耐壓：3 MPa溫度系數(shù)：Zero: ≤±0.2% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;
工作環(huán)境溫度：5 ℃~45 ℃
輸入信號：0 V~+5.00 V輸出信號：0 V~+5.00 V電插頭形式：DB15 pin（Female）
電源：+15 V 50 mA
-15V 200 mA重量：1.1 kg
注意:質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。質(zhì)量流量的單位規(guī)定為 : SCCM (標準毫升/分);
SLM (標準升/分)標準狀態(tài)規(guī)定為 : 溫度 --- 273.15K ( 0 ℃ );氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg)
在流量計MFC/MFM ，單位SCCM和“ mL/min, 0 ℃ ,1atm" 等同，單位SLM和“L/min, 0 ℃ ,1atm" 等同。F.S ． (Full Scale): 滿量程值
