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詳細(xì)介紹
化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)CP-6概述
良好的Rtec CMP測(cè)試儀CP-6允許以*的方式研究和表征CMP工藝。 除了拋光晶圓和基板外，測(cè)試儀還配有在線表面輪廓儀。 這種組合提供了有關(guān)表面，摩擦，磨損等變化的原因和方式的信息。 測(cè)試儀還可以測(cè)量幾個(gè)內(nèi)聯(lián)參數(shù)，如摩擦力，表面粗糙度，磨損量等，以便詳細(xì)了解過程。
特點(diǎn)
●集成的共聚焦3D顯微鏡，可以用nm分辨率表征任何材料墊表面
●內(nèi)聯(lián)摩擦，聲發(fā)射研究過程
●內(nèi)聯(lián)溫度傳感器
●可安裝多種晶圓尺寸
●可控制的下壓力和速度
概念 - 拋光，摩擦，表面粗糙度
XY + 2x旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)+ 2X Z運(yùn)動(dòng) - 標(biāo)準(zhǔn)配置有X，Y平臺(tái)，可在拋光和成像位置之間移動(dòng)壓板。此外，XY平臺(tái)有助于在拋光過程中振蕩晶圓。使用帶有XY驅(qū)動(dòng)器的壓板允許*的多軸驅(qū)動(dòng)組合允許創(chuàng)建任何自定義運(yùn)動(dòng)，以模擬接近現(xiàn)實(shí)生活場(chǎng)景的測(cè)試條件。
內(nèi)聯(lián)傳感器
扭矩 - 高分辨率內(nèi)聯(lián)扭矩傳感器可實(shí)現(xiàn)端點(diǎn)定位，并實(shí)時(shí)表征表面；
聲學(xué) - 聲音信號(hào)信號(hào)，允許定性終點(diǎn)或幫助檢測(cè)拋光過程中的碎片，缺陷。
溫度 - 焊盤和靠近晶圓拋光表面的區(qū)域的在線溫度監(jiān)控有助于研究去除機(jī)制。
可編程負(fù)載，速度
為了優(yōu)化過程，CP-5000允許使用基于配方的軟件控制和改變力，速度，流速。
易于使用 - 摩擦測(cè)量?jī)x配有快換載體，可輕松安裝晶圓和焊盤。該軟件帶有預(yù)定義的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)配方，或者可以輕松創(chuàng)建新的自定義配方。
集成在線3D輪廓儀
Rtec Chemical機(jī)械拋光機(jī)測(cè)試儀配有內(nèi)聯(lián)集成的3D輪廓儀，經(jīng)過優(yōu)化，可以表征具有nm分辨率的墊表面。 探測(cè)器配有共焦模式+干涉儀模式+暗場(chǎng)和明場(chǎng)模式。 這允許以nm分辨率研究表面變化與時(shí)間的關(guān)系。 為什么摩擦力的變化很容易量化。 該測(cè)試儀允許在大表面積上自動(dòng)縫合，以進(jìn)行體積磨損，粗糙度計(jì)算。
