SEMICON精彩回顧|半導(dǎo)體濕制程工藝良率提升的利器

時間：2023-7-14 閱讀：652

剛剛過去的SEMICON/ FPD China您參加了嗎？

據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，今年的SEMICON China 展覽面積達(dá)90,000平方米，1,100多家展商，4,200多個展位，20多場同期會議和活動。覆蓋芯片設(shè)計(jì)、制造、封測、設(shè)備、材料、光伏、顯示等全產(chǎn)業(yè)鏈攜手合作，規(guī)模較大、具有影響力的半導(dǎo)體專業(yè)展！

【展臺精彩回顧】

梅特勒托利多作為一家精密儀器制造商與服務(wù)商，今年也如期在SEMICON亮相，攜在線分析儀器（超純水、化學(xué)品分析）、稱重（平臺秤、稱重模塊）和實(shí)驗(yàn)室解決方案（天平、水分儀等），和新老朋友們見面。

工業(yè)稱重

在線分析儀器

實(shí)驗(yàn)室解決方案

展會現(xiàn)場，眾多業(yè)內(nèi)同仁蒞臨梅特勒托利多展位，與現(xiàn)場的技術(shù)顧問進(jìn)行了交流。

新升級的UPW Unicond^® 電阻率傳感器

本屆SEMICON展覽中，梅特勒托利多帶來了今年5月發(fā)布的升級款專用于半導(dǎo)體超純水的高精度電阻率傳感器：UPW Unicond^®

在半導(dǎo)體制造中，隨著工藝發(fā)展，對超純水和化學(xué)品中的雜質(zhì)離子管控也越發(fā)嚴(yán)苛。高精度的電阻率傳感器可以對雜質(zhì)離子進(jìn)行快速準(zhǔn)確的監(jiān)測，從而助力提高半導(dǎo)體濕制程良率。

七十多年以來，梅特勒托利多的電阻率傳感器一直運(yùn)用于半導(dǎo)體超純水的監(jiān)測，也伴隨著客戶的工藝要求而進(jìn)行升級。

升級版的傳感器精度不僅由原來的±1%提升到了±0.5%，更通過硬件設(shè)計(jì)和軟件優(yōu)化共同作用，提升了穩(wěn)定性和可靠性，更好地避免環(huán)境溫度和電子干擾帶來的不確定性。

為什么半導(dǎo)體制造離不開在線分析產(chǎn)品？

在半導(dǎo)體制造過程中，工藝過程中會用到大量的超純水和化學(xué)品，直接與產(chǎn)品接觸，因而這些液體或氣體是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)將直接影響工藝的良率。

而在線分析產(chǎn)品的傳感器就相當(dāng)于“眼睛”，及時監(jiān)測液體或氣體的狀態(tài)；接著通過變送器，將“眼睛”所“觀測”到的信號進(jìn)行處理后，及時傳輸?shù)缴a(chǎn)設(shè)備或者廠務(wù)系統(tǒng)；生產(chǎn)設(shè)備或者廠務(wù)系統(tǒng)獲取到的數(shù)據(jù)，對半導(dǎo)體制造來說，有許多重要的作用：

及時預(yù)警超標(biāo)，避免不必要的損失

例如在浸沒式光刻的浸沒液中的TOC超標(biāo)將影響光刻的質(zhì)量。

優(yōu)化工藝、提高良率

例如在晶圓清洗機(jī)中的pH，電導(dǎo)率，可確保清洗是否真正有效。

自動化配液、PID控制等

在廠務(wù)的中央供給系統(tǒng)中，根據(jù)濃度的變化，進(jìn)行自動化的配液。

除電阻率傳感器以外，梅特勒托利多的在線分析產(chǎn)品的產(chǎn)品線豐富，還可以提供多種條件下pH、溶解氧、臭氧、濁度、硅、鈉、氯離子、電導(dǎo)率、濃度、微生物、總有機(jī)碳等參數(shù)的實(shí)時監(jiān)測，可運(yùn)用于清洗機(jī)、晶圓電鍍機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，半導(dǎo)體廠務(wù)中央化學(xué)品、研磨液供給系統(tǒng)、純廢水系統(tǒng)、廢氣處理環(huán)節(jié)等。