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Phenom ProX是第五代電鏡能譜一體機，是*的集成化成像分析系統(tǒng)，分辨率提升 20%，進一步增加應(yīng)用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品。借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設(shè)計的能譜探測器，飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是*集成設(shè)計在飛納 Phenom ProX 系統(tǒng)中。Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現(xiàn)多點分析，檢測樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴展到元素分析線面掃（mapping）功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。
| Phenom Pro | Phenom ProX | Phenom XL | |
| 光學(xué)放大 | 20 - 135 X | 20 - 135 X | 3 - 16 X |
| 電子光學(xué)放大 | 80 - 150,000 X | 80 - 150,000 X | 80 - 100,000 X |
| 分辨率 | 優(yōu)于 8 nm | 優(yōu)于 8 nm | 優(yōu)于 14 nm |
| 數(shù)字放大 | Max. 12 X | Max. 12 X | Max. 12 X |
| 光學(xué)導(dǎo)航相機 | 彩色 | 彩色 | 彩色 |
| 加速電壓 | 5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào) | 5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào) | 5 Kv - 20 Kv 連續(xù)可調(diào) |
| 真空模式 | 高分辨率模式 | 高分辨率模式 | 高分辨率模式 |
| 降低荷電效應(yīng)模式 | 降低荷電效應(yīng)模式 | 降低荷電效應(yīng)模式 | |
| 高真空模式 | |||
| 探測器 | 背散射電子探測器 | 背散射電子探測器 | 背散射電子探測器 |
| 二次電子探測器 (選配) | 二次電子探測器 (選配) | 二次電子探測器 (選配) | |
| 樣品尺寸 | 大直徑 32 mm (Ø) | 大直徑 32 mm (Ø) | 大 100 mm X 100 mm |
| 可同時裝載 36 個 0.5 英寸樣品臺 | |||
| 樣品高度 | 高 100 mm | 高 100 mm | 高 65 mm |