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德國(guó)Heidenhain編碼器LC193F-640-9掃描方法
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德國(guó)Heidenhain編碼器LC193F-640-9掃描方法
ECI/EBI/EQI和RIC/RIQ旋轉(zhuǎn)編碼器采用感應(yīng)式測(cè)量原理。感應(yīng)掃描中,柵狀結(jié)構(gòu)調(diào)
制高頻信號(hào)的幅值和相位。通過圓周掃描,位置值信號(hào)全部由沿圓周均勻分布的接收線圈生成。
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 掃描方法


光電掃描
海德漢的大多數(shù)光柵尺采用光電掃描原理。光電掃描為非接觸式掃描,因此無磨
損。光電掃描可以檢測(cè)到非常精細(xì)的光柵,柵線寬度僅數(shù)微米,生成的輸出信號(hào)的信號(hào)周期非常細(xì)小。
ECN、EQN、ERN、ROC、ROQ和ROD旋轉(zhuǎn)編碼器采用成像掃描原理。
簡(jiǎn)單地說,成像掃描原理是用透射光生成信號(hào);例如用兩個(gè)柵距相同柵狀結(jié)構(gòu)(柵尺與掃描掩膜)彼此相對(duì)地運(yùn)動(dòng)。掃描掩
膜為透明基體。測(cè)量基準(zhǔn)上的柵狀結(jié)構(gòu)可在透明面上,也可在反光面上。
當(dāng)平行光穿過光柵時(shí),投影形成一定的間隔的明/暗光影區(qū)。柵距相同的掃描光柵位
于柵狀結(jié)構(gòu)投影的成像位置。當(dāng)這兩個(gè)柵狀結(jié)構(gòu)相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí),調(diào)制入射光:如果狹縫對(duì)齊,光線通過。如果一條柵線與另一
個(gè)上的狹縫對(duì)齊,光線無法通過。光電池將這些光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成近似正弦波形的電信號(hào)。采用成像掃描原理的編碼器可用較大的安裝公差,小柵距可達(dá)10 μm。

 用該掃描原理的式旋轉(zhuǎn)編碼器的光電池是大型、精細(xì)的柵狀光電池,而不是一組分立的光電池。光電傳感器的柵狀結(jié)寬度與測(cè)量基準(zhǔn)柵狀結(jié)構(gòu)的寬度相同。因此無需具有相同柵狀結(jié)構(gòu)的掃描掩膜。

其它掃描原理
ECI/EBI/EQI和RIC/RIQ旋轉(zhuǎn)編碼器采用感應(yīng)式測(cè)量原理。感應(yīng)掃描中,柵狀結(jié)構(gòu)調(diào)
制高頻信號(hào)的幅值和相位。通過圓周掃描,位置值信號(hào)全部由沿圓周均勻分布的接收線圈生成。

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