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二氧化鉿反應(yīng)離子束沉積(HfO2 RIBD)

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更新時(shí)間:2015-11-10 09:56:52瀏覽次數(shù):940

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二氧化鉿反應(yīng)離子束沉積(HfO2 RIBD)

詳細(xì)介紹

使用Ionfab300Plus (LC)的HfO2 RIBD技術(shù)

  • 預(yù)清潔:35cm的源可以對(duì)zui大8英寸的襯底進(jìn)行預(yù)清潔
  • 沉積氣體:Ar、O2
  • 晶圓尺寸zui大可以達(dá)到200mm

 

 

注釋:

1. 邊緣有5mm的范圍,均勻性的描述見(jiàn)下文

2. 沉積速率達(dá)到zui大速率的50%以上時(shí),應(yīng)力和均勻性仍然可以得到保證

  Ionfab 300Plus for HfO2 RIBD

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