蔡司 EVO MA鎢燈絲掃描電子顯微鏡將鎢燈絲掃描電鏡的發(fā)展帶入了全新的時(shí)代，超大樣品室為各類繁雜的樣品以及繁重的工作提供了輕松的解決方案，自動(dòng)化的5軸樣品臺(tái)和大的X、Y、Z軸跟蹤掃描以及可變壓力的檢測(cè)模式使得EVO MA 15能夠廣泛適用于各類樣品的檢測(cè)工作，EVO MA 15作為一款研究級(jí)掃描電鏡能夠?yàn)槟峁﹝ui*的視覺圖像和zui廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。
蔡司 EVO MA鎢燈絲掃描電子顯微鏡【技術(shù)參數(shù)】
分辨率：3.0nm@ 30KV(SE and W)  4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 
加速電壓：0.2—30KV 
放大倍數(shù)：5—1000000x 
探針電流：0.5PA-5μA 
X-射線分析工作距離：8.5mm     35度接收角 
壓力范圍：10—400Pa (LS15:環(huán)掃模式10-3000Pa)
工作室：365mm(φ)×275mm(h) 
5軸優(yōu)中心自動(dòng)樣品臺(tái)：X=125mm  Y=125mm  Z=50mm  T=-10°- 90°°R=360° 
zui大試樣高度：145mm，zui大試樣直徑：250mm 
系統(tǒng)控制：基于Windows 7 的SmartSEM操作系統(tǒng)
【主要特點(diǎn)】
能在可變壓力下操作 
*X射線和EBSD分析 
可移動(dòng)大平臺(tái) 
快抽真空 
未來的保證，可升級(jí)在高壓和水蒸氣下成像和分析 
高亮度LaB6資源選擇 
光線套選擇
掃描電鏡(SEM)廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測(cè)量。