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JKZC-PRJ750型真空熱壓機(jī)(熱壓板135x135~350x350mm,5T,溫度:750℃)

閱讀:27      發(fā)布時(shí)間:2025-09-19
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型號(hào):JKZC-PRJ750

(一)產(chǎn)品概述:

JKZC-PRJ750是一款真空平板熱壓機(jī),專為晶圓鍵合、薄膜轉(zhuǎn)移和 LCP 層壓設(shè)計(jì),加熱面積為 135x135mm~350x350mm。其最高工作溫度為 750℃,最大壓力為20T~40T。

JKZC-PRJ750型真空熱壓機(jī).png

 

(二)基本參數(shù):

產(chǎn)品型號(hào)

JKZC-PRJ750-4

JKZC-PRJ750-12

電壓和功率

·AC208-240V,50/60 Hz

單相 4.8KW

AC208-240T,50/60 Hz

單相 15KW

加熱平板(其他尺寸可定制)

135x135mm

平面度<0.02mm(區(qū)域100X100mm)

350x 350mm

平面度<0.03mm(區(qū)域250x250mm)

2個(gè)平板最大距離(可放樣品最大厚度)

80mm

200mm

腔體尺寸和容積

670長(zhǎng)x630X670(mm)~28ZL

670 Lx630Wx719H(mm)

~303 L

加熱平板承受最大壓力

5T(750℃)

5T(750℃)

壓缸行程

40mm

壓力顯示范圍

2.00-5000.00kg

壓力控制范圍

50-5000Kg

 

壓機(jī):

 

保壓時(shí)間:1-9999min

恒壓精度

±3kg

 

(三)真空平板熱壓機(jī)結(jié)構(gòu)

兩塊塊加熱平板最高工作溫度750℃,采用高溫合金制作加熱元件插入加熱板的中心,以實(shí)現(xiàn)快速加熱。

2塊加熱板分別由2個(gè)溫控儀表獨(dú)立控溫,50段程序控溫在加熱板的頂部和底部都安裝了水冷套管,以輔助散熱。進(jìn)/出水管為外徑12mm聚氨酯管

JKZC-PRJ750型真空熱壓機(jī)1.png

 

(四)壓機(jī)參數(shù):

1、壓缸行程:40mm

2、壓力顯示范圍:2.00-5000.00kg

3、壓力控制范圍:50-5000Kg

4、壓機(jī):保壓時(shí)間:1-9999min

5、設(shè)備有兩種工作模式:手動(dòng)加壓和自動(dòng)加壓。自動(dòng)加壓模式下設(shè)備帶有恒壓功能:當(dāng)壓力值達(dá)到目標(biāo)值后,在保壓的過(guò)程中,設(shè)備持續(xù)補(bǔ)壓使壓力保持在設(shè)定值。

6、恒壓精度:±3kg

7、溫度控制和壓力顯示:2塊加熱板分別由2個(gè)溫控儀表獨(dú)立控溫,50段程序控溫,控溫精度土3℃溫度控制器具備 PID 自動(dòng)校準(zhǔn)功能、過(guò)熱保護(hù)以及斷熱電偶保護(hù)功能。最高工作溫度:750℃<30分鐘,連續(xù)工作溫度700℃(情性氣氛或真空環(huán)境下)最高加熱速率:5℃/min

8、溫度控制和壓力顯示:控制面板內(nèi)內(nèi)置了一款數(shù)字壓力計(jì)(控制器)。您可以設(shè)定所需的壓力值,這樣就能使電動(dòng)液壓機(jī)到達(dá)壓力值時(shí)自動(dòng)恒壓。

 

JKZC-PRJ750型真空熱壓機(jī)2.png

 

 

(四)真空腔體

1、電動(dòng)液壓機(jī)和加熱板被放置在真空室內(nèi)部

2、真空室由: ss304 不銹鋼制成

3、真空腔體安裝有一個(gè)真空密封門,直徑300mm,有一個(gè)直徑150m的石英窗口,4、便于裝樣品和觀察:所有真空密封均使用硅橡膠0型圈

5、可選購(gòu)安裝了一個(gè)數(shù)字真空計(jì)(10E-4Torr)測(cè)量真空腔室的真空度

可選可選購(gòu)設(shè)備(需額外費(fèi)用)

5、需要一臺(tái)循環(huán)水冷機(jī),用于對(duì)過(guò)熱的散熱板進(jìn)行冷卻,以加快冷卻速度??蛇x購(gòu)真空泵,機(jī)械泵抽真空度300mTorr,分子泵系統(tǒng)抽真空度10-4Torr

JKZC-PRJ750型真空熱壓機(jī)3.png

 

 

 

應(yīng)用注意:

此款熱壓機(jī)也可用于測(cè)量熱電發(fā)電機(jī)模塊(頂部受熱,底部冷卻)

JKZC-PRJ750型真空熱壓機(jī)4.png


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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司

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