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詳細介紹
日本電子-IT200A掃描電鏡
主要特長
電子光學(xué)系統(tǒng)
是日本電子株式會社升級版機型，集合了分析掃描電鏡精髓功能，結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié) 省空間，分辨率高。
操作舒適快捷
擁有非常直觀的操作系統(tǒng)，即使沒有經(jīng)驗的用戶也可進行操作高品質(zhì)的SEM圖像，以及高效率元素分析?？芍С植僮饔|摸屏。
安裝的靈活性 節(jié)省空間，安裝方便。一個電源插座就足以安裝。不需要任何冷卻水。
JSM-IT200A性能參數(shù)
Main Performance on JSM-IT200A
圖像模式 |
二次電子圖像
REF像
成份像 (背散射電子圖像)
形貌像 (背散射電子圖像)
立體像 (背散射電子圖像) |
實時圖像顯示 |
雙實時圖像同時顯示, 分割實時圖像顯示 |
加速電壓 | 0.5KV ~ 30KV |
探針束流 | 1pA ~ 0.3uA |
(二) 電子光學(xué)系統(tǒng) |
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燈絲 |
工廠預(yù)對中鎢燈絲 |
電子槍偏壓 |
無縫式自給偏壓, 連續(xù)調(diào)整 |
電子槍合軸 |
自動合軸 |
燈絲加熱 |
自動加熱 |
聚光透鏡 |
變焦聚光透鏡系統(tǒng) – 技術(shù) |
物鏡 |
超級錐形物鏡 |
物鏡光闌 |
1孔固定，可在X和Y方向微調(diào) |
聚焦 |
自動/手動聚焦 |
像散 |
自動/手動消像散 |
像散存儲器 |
標準配置，自動/手動補償像散 |
圖像移動 | X-Y , ±50um |
(三) 樣品臺 |
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樣品臺類型 |
全對中樣品臺 |
行程
| X : 80mm; Y : 40mm; Z : 5 ~ 48mm; 傾斜 T: -10 ~ +90° 旋轉(zhuǎn) R: 360°連續(xù)endless |
zui大樣品尺寸 |
可裝直徑150mm高度為48mm的樣品 |
zui大觀察視野 |
直徑127mm |
(四) 圖形顯示 |
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顯示像素 | 640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840 |
圖像處理 |
平均值, 灰度修正, 反差增強, 偽彩, 二及四分屏, 2及4倍數(shù)碼變焦 |
文件存儲格式 |
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(五) 操作系統(tǒng) |
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計算機 | OS : Windows 10 (英語版) 觸摸屏式臺式電腦 |
(六) 測量功能 |
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平行線間距測量 |
垂直, 水平, 對角 |
2點之間距離測量 |
任意2點間距離 |
圓的測量 |
直徑
2個圓中心間距離(觸摸屏操作下不支持此功能) |
角度測量 |
角度 |
面積測量 |
圓和多角形 |
計數(shù) |
顆粒計數(shù) |
(七) 真空系統(tǒng) |
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真空度 |
高真空模式 1×10-4Pa |
抽真空時間 |
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真空泵系統(tǒng) |
一個分子泵, 一個機械泵 |
(七) 安全裝置 |
斷電,斷水,泄壓,漏電保護 |
(八) 自動功能 |
自動電子槍控制,自動聚焦,自動消像散,自動反差和亮度 |
(九) 擴展接口 | EDS 能譜儀、Chamber Scope紅外相機、Probe Current Detector束流監(jiān)視器 |
(十)能譜儀主要性能 |
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探測器 |
電制冷方式Box SDD 探測器 – 不用液氮 |
探頭有效掃描面積 | 25 mm2 |
探測器移動 |
固定 |
Resolution 分辨率 | 130eV or less (IC |
元素分析范圍 | Be(4) to U(92) 鈹 至 鈾 |
Window 窗口 | Atmosp 抗大氣壓的超薄窗 |
取出角 | 35°（WD：10mm） |
Cooling 制冷方法 | Peltier coo |
標準搭載功能 | 定性分析 定量分析 活區(qū)面分析 點分析 束流追蹤
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日本電子-IT200A掃描電鏡:一款更簡潔、更易于使用且性價比高的掃描電子顯微鏡。
使用初學(xué)者易懂的樣品交換導(dǎo)航，可以輕松地從樣品臺搜索視野并開始觀察SEM圖像。Zeromag能像光鏡一樣直觀地搜索視野，Live Analysis*²可以不用特意分析就能實時獲取元素分析結(jié)果，SMILE VIEWTM Lab能綜合編輯觀察和分析報告等，使它成為一個分析業(yè)務(wù)的軟件。
立即觀察！立即分析！立即報告！
JEOL InTouchScope™系列*的三個功能使分析裝置成為一種工具。
■完成樣品交換的同時觀察開始 樣品交換導(dǎo)航
樣品交換導(dǎo)航是從打開樣品室到開始觀察過程中進行導(dǎo)航的功能
■立即觀察！ Zeromag觀察
使用主窗口顯示的樣品臺示意圖和光學(xué) CCD 圖像 *¹ ，進行視野搜尋和分析位置。
■立即分析！Live Analysis分析*²
通過顯示譜圖和顯示元素，能確認正在觀察中的視野的譜圖及主要元素。
■立即報告！SMILE VIEWTM Lab 數(shù)據(jù)集中管理
按下數(shù)據(jù)管理圖標并顯示數(shù)據(jù)管理窗口后，從SEM圖像到分析，對全部數(shù)據(jù)能創(chuàng)建批量報告 、查看數(shù)據(jù)并重新分析數(shù)據(jù)。
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