巖征儀器槳態(tài)床沉積制備裝置采用不銹鋼制成，具有密封性能好，耐溫耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn)。反應(yīng)器加熱方式采用電熱爐加熱，控溫精度高，對(duì)吸熱和放熱反應(yīng)溫度均可控制。反應(yīng)氣體經(jīng)過濾器后用精密穩(wěn)壓閥調(diào)節(jié)壓力，經(jīng)過質(zhì)量流量計(jì)控制流量后進(jìn)入到反應(yīng)釜。液體物料經(jīng)過濾器后由高壓計(jì)量泵打入到反應(yīng)釜和汽化器中。液體物料和氣體物料在反應(yīng)釜中通過攪拌器均勻混合，同時(shí)發(fā)生反應(yīng)。

槳態(tài)床沉積制備裝置反應(yīng)釜設(shè)有溫控裝置，如果反應(yīng)體系是放熱反應(yīng)，則用冷卻方式控溫，并根據(jù)反應(yīng)體系的放熱情況調(diào)節(jié)溫度。從反應(yīng)釜出來的氣體經(jīng)高位氣液分離器后經(jīng)過濾器和背壓閥控制反應(yīng)體系壓力后排空。液體產(chǎn)物可直接由反應(yīng)釜排到低位分離器中。

配置清單：