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詳細介紹
Edwards真空泵是世界上蕞的真空泵之一，廣泛用于半導體、平板顯示器、LED 和太陽能電池制造，及工業(yè)、制藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝等行業(yè)。
英國EDWARDS渦旋干式真空泵
XDS 泵的設計創(chuàng)新性，采用軸承屏蔽將真空環(huán)境與所有形式的潤滑劑隔離開來，使之不僅*干燥，而且*密封。該屏蔽還能保護軸承免受任何制程蒸汽的影響。
可調(diào)氣囊允許處理蒸汽，將應用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。XDS 泵用于泵送可冷凝的蒸汽，可以使用為廣泛的實驗室濕化學應用所選擇的各種材料。
特點及優(yōu)勢
軸承屏蔽
*清潔和干燥的真空
真空空間中沒有軸承或油脂
無軸封，無軸承清洗
簡單的單側(cè)滾軸設計
更換頂封口僅需 20 分鐘
無需特殊工具
氣囊位置可選
無氣囊泄漏
水蒸汽處理量大
所有泵產(chǎn)品均經(jīng)外部機構(gòu)檢驗，符合 EN61010、CSA C22.2 1010、UL 61010 標準
可以輕松地將泵整合到已認可的系統(tǒng)中，產(chǎn)品安全可靠
應用
分析儀器
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
渦輪分子前級泵
超高速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學儀器
英國EDWARDS渦旋干式真空泵
nXDS20i-C干式渦旋真空泵
XDS10渦旋式真空泵
XDS5渦旋式真空泵
XDS100B渦旋式真空泵
技術參數(shù)
排量 | |
50Hz | 11.3 m3h-1 / 6.7 ft3min-1 |
60Hz | 13.4 m3h-1 / 7.9 ft3min-1 |
峰值抽速1 | |
50Hz | 9.3 m3h-1 / 5.5 ft3min-1 |
60 Hz | 11.1 m3h-1 / 6.5 ft3min-1 |
極限真空（總壓力） | |
50Hz | 7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr |
60 Hz | 6 x 10-2 mbar / 4.5 x 10-2 Torr |
水蒸汽的最大進氣口壓力 | 35 mbar/23 Torr |
最大水蒸汽抽速 – GB I | 70 gh-1 |
最大水蒸汽抽速 – GB II | 200 gh-1 |
允許的最大出口壓力 | 1 bar 表壓/14 psig |
允許的最大進氣口和氣鎮(zhèn)壓力 | 0.5 bar 表壓/7 psig |
電機功率（1 相和 3 相） | 0.3kW |
電源連接器（1 相） | IEC EN60320 C13 |
標稱旋轉(zhuǎn)速度 50/60 Hz | 1500/1800 rpm |
重量 | 24.5 kg/54 lb |
入口法蘭 | NW25 |
排氣口法蘭 | NW25 |
噪音級別 | 50 Hz 時 55 dBA |
振動 | <4.5 mms-1 (rms) |
密封性（靜態(tài)） | <1 x 10-6 mbar ls-1 |
工作溫度范圍 | 10 至 40 °C/50 至 104 °F |
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