Physik Instrumente緊湊型XY納米定位系統(tǒng)

P-763 緊湊型XY納米定位系統(tǒng)

·         行程200微米

·         帶電容式傳感器，具有高定位穩(wěn)定性和分辨率

·         落地面積小，邊長(zhǎng)為70毫米

·         大通光孔徑30毫米 × 30毫米

·         行程200微米

·         帶電容式傳感器，具有高定位穩(wěn)定性和分辨率

·         落地面積小，邊長(zhǎng)為70毫米

·         大通光孔徑30毫米 × 30毫米

精密級(jí)納米定位系統(tǒng)

雙軸，串聯(lián)運(yùn)動(dòng)。帶機(jī)械杠桿運(yùn)動(dòng)放大器的無摩擦柔性鉸鏈接頭。電容式位置傳感器實(shí)現(xiàn)大穩(wěn)定性和線性度

PICMA高性能壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器

帶全瓷絕緣的壓電陶瓷促動(dòng)器 使用壽命更長(zhǎng)、防潮性能佳、工作溫度達(dá)80攝氏度

應(yīng)用領(lǐng)域

科研和工業(yè)中的樣本操作和定位，也適用于透射光應(yīng)用

Order Information

P-763.22C XY Nanopositioning System with Small Footprint and Large Aperture, 200 µm × 200 µm, Direct Metrology, Capacitive Sensors

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