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詳細(xì)介紹
萬濠 白光干涉儀顯微鏡 AE-100M
產(chǎn)品用途：
結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用領(lǐng)域包含：玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機(jī)電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。
產(chǎn)品特點(diǎn):
● 納米深度3D檢測(cè)
● 高速、無接觸量
● 表面形狀、粗糙度分析
● 非透明、透明材質(zhì)皆適用
● 非電子束、非雷射的安全量測(cè)
● 低維護(hù)成本
專業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）：
● 提供多功能又具友好界面的3D圖形處理與分析
● 提供自動(dòng)表面平整化處理功能
● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能
● 深度、高度分析功能提供線性分析與區(qū)域分析等兩種方式
● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Roughness）與起伏度
● （waviness）的測(cè)量分析?？商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)（Wafer）
● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析
● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能
● 量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解析軟件(ImgScan)：
● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋
● 垂直高度可達(dá)0.1nm
● 高速的分析算法則，讓你不在苦候測(cè)量結(jié)果
● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
● 平臺(tái)X、Y、Z位置數(shù)字式顯示，使檢測(cè)目標(biāo)尋找快速又便利
● 具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得的干涉條紋對(duì)比
● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測(cè)量模式供選擇
● 具有解析算法則可處理半透明物體的3D形貌
● 具有自動(dòng)補(bǔ)點(diǎn)功能
● 可自行設(shè)定掃描方向
萬濠 白光干涉儀顯微鏡 AE-100M技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
| 型號(hào) | AE-100M | ||
| 移動(dòng)臺(tái)(mm) | 平臺(tái)尺寸100*100 ，行程13*13 | ||
| 物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
| 觀察與量測(cè)范圍(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
| 光學(xué)分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
| 收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
| 工作距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
| 傳感器分辨率 | 640*480像素 | ||
| 機(jī)臺(tái)重量(kg)/載重kg | 20kg/小于1kg | ||
| Z軸移動(dòng)范圍 | 45mm , 手動(dòng)細(xì)調(diào);可訂制150mm | ||
| Z軸位置數(shù)字顯示器 | 分辨力1μm | ||
| 傾斜調(diào)整平臺(tái) | 雙軸/手動(dòng)調(diào)整 | ||
| 高度測(cè)量 | |||
| 測(cè)量范圍 | 100(μm)(400μm ,選配) | ||
| 量測(cè)分辨力 | 0.1nm | ||
| 重復(fù)精度 | ≤ 0.1％ (量測(cè)高度:>10μm) | ||
| ≤10nm(量測(cè)高度1μm 10μm) | |||
| ≤ 5nm(量測(cè)高度:<1μm ) | |||
| 量測(cè)控制 | 自動(dòng) | ||
| 掃描速度(μm/s) | 12 | ||
| 光源 | |||
| 光源類型 | 儀器用鹵素（冷）光源 | ||
| 平均使用壽命 | 1000小時(shí)100W 500小時(shí)（150W） | ||
| 光強(qiáng)度調(diào)整 | 自動(dòng)/手動(dòng) | ||
| 數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算機(jī) | |||
| 中央處理運(yùn)算屏幕 | 雙核心以上CPU | ||
| 影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕 | 21" 雙晶屏幕 | ||
| 操作系統(tǒng) | Win7 | ||
| 電源與環(huán)境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
| 環(huán)境振動(dòng) | VC-C等級(jí)以上 | ||
| 測(cè)量分析軟件 | |||
| 量測(cè)軟件ImgScan | ImgScan測(cè)量軟件：具VSI/ PVSI/PSI 測(cè)量模式（PSI量測(cè)模式需另選配PSI模塊搭配） | ||
| 分析軟件PosTopo | ISO 粗燥度/階高分析，快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波，多樣的2D和3D 觀測(cè)視角圖，外形/面積/體積分析，圖像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換 報(bào)表輸出，程序教導(dǎo)測(cè)量等。 | ||
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