
全面的波前測(cè)量解決方案
光波在介質(zhì)中傳播時(shí),光波同一時(shí)刻相位相同的所有點(diǎn)集合構(gòu)成的面將其稱(chēng)為波前。Shack-Hartmann夏特哈克曼波前傳感器原理是通過(guò)微透鏡陣列和放置在其焦平面的CCD,平行入射的光束經(jīng)過(guò)每一個(gè)微透鏡匯聚到CCD上,CCD上接收對(duì)應(yīng)的聚焦點(diǎn)。理想的平面波經(jīng)過(guò)微透鏡后成像的位置作為對(duì)應(yīng)的零點(diǎn),畸變的波前聚焦成像點(diǎn)與零點(diǎn)的偏差可計(jì)算出波前的局部斜率。從這個(gè)信息中,可以實(shí)時(shí)測(cè)量光強(qiáng)分布、波前像差、 OTF 、 MTF 以及其它參數(shù)。
基于30年光學(xué)和激光檢測(cè)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),SpotOptics 提供全套夏克-哈特曼波前測(cè)試、分析及基于波前的主動(dòng)光學(xué)裝調(diào)(LENS AA)解決方案。
Spot Optics 夏克-哈特曼波前傳感器可覆蓋超寬光譜多波長(zhǎng),包括紫外(157nm-400nm)、可見(jiàn)近紅外(400-1064nm)、短波紅外(900-1700nm)、中波紅外(2-5.4μm)和長(zhǎng)波紅外(8-14μm)。測(cè)量時(shí)不受口徑限制(如果擴(kuò)束系統(tǒng)受限,用準(zhǔn)直物鏡確保與傳感器NA匹配);實(shí)現(xiàn)軸上和軸外波前測(cè)量,甚至掃描全視場(chǎng),以及多視場(chǎng)同時(shí)測(cè)量;可測(cè)量多種出瞳形狀:圓形、橢圓形、帶中心遮攔(中心孔)、六邊形等;
提供Single Pass、Double Pass兩種測(cè)量光路來(lái)已滿(mǎn)足不同應(yīng)用要求;
IOPTINO系列波前傳感器+電子自準(zhǔn)直儀雙通道,結(jié)構(gòu)緊湊,尺寸僅150x100x50mm, 重量400g;電子自準(zhǔn)直儀可用于光路調(diào)試。
Spotoptics波前傳感器中的微透鏡陣列可自行更換,以滿(mǎn)足不同波長(zhǎng)的測(cè)量需求。
Spotoptics OMI系列波前傳感器靈活多變用于研發(fā)、還有Optino、OPAL300、5 Stars、STELLA系列等波前測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用于快速量產(chǎn);
軟件功能:提供實(shí)際波前,擬合波前和剩余波前;軸上軸外MTF、OTF、PSF;軸上軸外點(diǎn)列圖;實(shí)時(shí)顯示波前、Zernike系數(shù)(賽德?tīng)柍跫?jí)像差、高階像差)等,可用于指導(dǎo)裝調(diào);成熟完善的分析軟件幫助實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)主動(dòng)裝調(diào)(LENS AA);計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào),軟件提供反饋量計(jì)算功能;
應(yīng)用范圍
激光方面:可進(jìn)行激光光束波前及光束質(zhì)量分析,mW~MW,支持10.6um CO2激光;可替代光束質(zhì)量分析儀使用,獲得比光束質(zhì)量分析儀更完整的激光波前信息;
天文望遠(yuǎn)鏡:用于大型天文望遠(yuǎn)鏡共位相誤差測(cè)量,自帶主動(dòng)溫度補(bǔ)償;美國(guó)6.5米毫米波望遠(yuǎn)鏡使用puntino測(cè)量波前;
高速測(cè)量:實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果,較高速波前采集頻率達(dá)到8000 Hz,可應(yīng)用于分析ms級(jí)響應(yīng)的液體鏡頭;還可進(jìn)行變溫下FFL變化量測(cè)試;變溫下MTF測(cè)量;
其他應(yīng)用:用于主動(dòng)光學(xué)系統(tǒng)、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng);光學(xué)元件均勻性測(cè)量,非球面等;非破壞性光學(xué)元件折射率測(cè)量,非球面測(cè)量等。

IOPTINO系列2通道自準(zhǔn)直波前傳感器 波前傳感器與干涉儀對(duì)比驗(yàn)證 IOPTINO系列2通道自準(zhǔn)直波前傳感器
可靠性驗(yàn)證
Spot Optics夏特哈克曼波前傳感器通過(guò)與Zygo等各類(lèi)品牌干涉儀對(duì)比驗(yàn)證,其結(jié)果具有可靠性。
平場(chǎng)(理想)波前經(jīng)過(guò)光學(xué)鏡片/系統(tǒng)后的產(chǎn)生畸變,畸變的波前到達(dá)波前傳感器或干涉儀,左側(cè)圖表示干涉儀檢測(cè)到的條
紋,右下圖體現(xiàn)的是光點(diǎn)在波前傳感器CCD的位移從而重構(gòu)波前,軟件計(jì)算澤尼克形變系數(shù)和MTF等。
對(duì)比試驗(yàn)數(shù)據(jù)(測(cè)試波長(zhǎng):632.8 nm):
| Parameter參數(shù)/型號(hào) | Zygo GPIxp HR干涉儀 | Optino Pro 波前測(cè)量系統(tǒng) | Difference 偏差 |
| P-V (nm ) | 93.2 | 100.2 | 7 |
| Rms (nm ) | 18.3 | 20.3 | 2 |
| Defocus (nm ) | -23.2 | -19.9 | -3.3 |
| P-V (waves ) | 0.1473 | 0.1596 | 0.011 |
實(shí)驗(yàn)結(jié)論:SpotOptics Optino基于Shack-Hartmann波前傳感器原理測(cè)量系統(tǒng), 給出了與Zygo干涉儀所得的測(cè)量結(jié)果非常一致的數(shù)據(jù)。
Spot Optics波前測(cè)量產(chǎn)品應(yīng)用范圍:
1. 實(shí)時(shí)主動(dòng)裝調(diào)鏡頭,軟件提供反饋量,自帶計(jì)算功能
2. 變溫下MTF測(cè)量、FFL測(cè)量
3. 激光光束波前及光束質(zhì)量分析
4. 天文望遠(yuǎn)鏡共位相誤差測(cè)量
5. 高速波前采集
6. 大型天文望遠(yuǎn)鏡共位相誤差測(cè)量
7. 主動(dòng)光學(xué)系統(tǒng)、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)
8. 光學(xué)元件均勻性測(cè)量(包括非球面)
9. 非破壞性光學(xué)元件折射率測(cè)量(包括非球面)
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)