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全面的波前測(cè)量解決方案

      發(fā)布時(shí)間:2025-11-28
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全面的波前測(cè)量解決方案
 

光波在介質(zhì)中傳播時(shí),光波同一時(shí)刻相位相同的所有點(diǎn)集合構(gòu)成的面將其稱(chēng)為波前。Shack-Hartmann夏特哈克曼波前傳感器原理是通過(guò)微透鏡陣列和放置在其焦平面的CCD,平行入射的光束經(jīng)過(guò)每一個(gè)微透鏡匯聚到CCD上,CCD上接收對(duì)應(yīng)的聚焦點(diǎn)。理想的平面波經(jīng)過(guò)微透鏡后成像的位置作為對(duì)應(yīng)的零點(diǎn),畸變的波前聚焦成像點(diǎn)與零點(diǎn)的偏差可計(jì)算出波前的局部斜率。從這個(gè)信息中,可以實(shí)時(shí)測(cè)量光強(qiáng)分布、波前像差、 OTF 、 MTF 以及其它參數(shù)。
 

基于30年光學(xué)和激光檢測(cè)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),SpotOptics 提供全套夏克-哈特曼波前測(cè)試、分析及基于波前的主動(dòng)光學(xué)裝調(diào)(LENS AA)解決方案。
 

Spot Optics 夏克-哈特曼波前傳感器可覆蓋超寬光譜多波長(zhǎng),包括紫外(157nm-400nm)、可見(jiàn)近紅外(400-1064nm)、短波紅外(900-1700nm)、中波紅外(2-5.4μm)和長(zhǎng)波紅外(8-14μm)。測(cè)量時(shí)不受口徑限制(如果擴(kuò)束系統(tǒng)受限,用準(zhǔn)直物鏡確保與傳感器NA匹配);實(shí)現(xiàn)軸上和軸外波前測(cè)量,甚至掃描全視場(chǎng),以及多視場(chǎng)同時(shí)測(cè)量;可測(cè)量多種出瞳形狀:圓形、橢圓形、帶中心遮攔(中心孔)、六邊形等;
 

提供Single Pass、Double Pass兩種測(cè)量光路來(lái)已滿(mǎn)足不同應(yīng)用要求;

IOPTINO系列波前傳感器+電子自準(zhǔn)直儀雙通道,結(jié)構(gòu)緊湊,尺寸僅150x100x50mm, 重量400g;電子自準(zhǔn)直儀可用于光路調(diào)試。

Spotoptics波前傳感器中的微透鏡陣列可自行更換,以滿(mǎn)足不同波長(zhǎng)的測(cè)量需求。 

Spotoptics OMI系列波前傳感器靈活多變用于研發(fā)、還有Optino、OPAL300、5 Stars、STELLA系列等波前測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用于快速量產(chǎn);

 

軟件功能:提供實(shí)際波前,擬合波前和剩余波前;軸上軸外MTF、OTF、PSF;軸上軸外點(diǎn)列圖;實(shí)時(shí)顯示波前、Zernike系數(shù)(賽德?tīng)柍跫?jí)像差、高階像差)等,可用于指導(dǎo)裝調(diào);成熟完善的分析軟件幫助實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)主動(dòng)裝調(diào)(LENS AA);計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào),軟件提供反饋量計(jì)算功能;
 

應(yīng)用范圍
 

激光方面:可進(jìn)行激光光束波前及光束質(zhì)量分析,mW~MW,支持10.6um CO2激光;可替代光束質(zhì)量分析儀使用,獲得比光束質(zhì)量分析儀更完整的激光波前信息;
 

天文望遠(yuǎn)鏡:用于大型天文望遠(yuǎn)鏡共位相誤差測(cè)量,自帶主動(dòng)溫度補(bǔ)償;美國(guó)6.5米毫米波望遠(yuǎn)鏡使用puntino測(cè)量波前;
 

高速測(cè)量:實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果,較高速波前采集頻率達(dá)到8000 Hz,可應(yīng)用于分析ms級(jí)響應(yīng)的液體鏡頭;還可進(jìn)行變溫下FFL變化量測(cè)試;變溫下MTF測(cè)量;
 

其他應(yīng)用:用于主動(dòng)光學(xué)系統(tǒng)、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng);光學(xué)元件均勻性測(cè)量,非球面等;非破壞性光學(xué)元件折射率測(cè)量,非球面測(cè)量等。


                                  

            IOPTINO系列2通道自準(zhǔn)直波前傳感器                                                          波前傳感器與干涉儀對(duì)比驗(yàn)證                                                                IOPTINO系列2通道自準(zhǔn)直波前傳感器


可靠性驗(yàn)證

Spot Optics夏特哈克曼波前傳感器通過(guò)與Zygo等各類(lèi)品牌干涉儀對(duì)比驗(yàn)證,其結(jié)果具有可靠性。

平場(chǎng)(理想)波前經(jīng)過(guò)光學(xué)鏡片/系統(tǒng)后的產(chǎn)生畸變,畸變的波前到達(dá)波前傳感器或干涉儀,左側(cè)圖表示干涉儀檢測(cè)到的條
紋,右下圖體現(xiàn)的是光點(diǎn)在波前傳感器CCD的位移從而重構(gòu)波前,軟件計(jì)算澤尼克形變系數(shù)和MTF等。

 

對(duì)比試驗(yàn)數(shù)據(jù)(測(cè)試波長(zhǎng):632.8 nm):
 

Parameter參數(shù)/型號(hào)

Zygo GPIxp HR干涉儀

Optino Pro 波前測(cè)量系統(tǒng)

Difference 偏差

P-V (nm )93.2100.27
Rms (nm )18.320.32
Defocus (nm )-23.2-19.9-3.3
P-V (waves )0.14730.15960.011


實(shí)驗(yàn)結(jié)論:SpotOptics Optino基于Shack-Hartmann波前傳感器原理測(cè)量系統(tǒng), 給出了與Zygo干涉儀所得的測(cè)量結(jié)果非常一致的數(shù)據(jù)。
 

Spot Optics波前測(cè)量產(chǎn)品應(yīng)用范圍:

 1.  實(shí)時(shí)主動(dòng)裝調(diào)鏡頭,軟件提供反饋量,自帶計(jì)算功能

 2.  變溫下MTF測(cè)量、FFL測(cè)量

 3.  激光光束波前及光束質(zhì)量分析

 4.  天文望遠(yuǎn)鏡共位相誤差測(cè)量

 5.  高速波前采集

 6.  大型天文望遠(yuǎn)鏡共位相誤差測(cè)量

 7.  主動(dòng)光學(xué)系統(tǒng)、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)

 8.  光學(xué)元件均勻性測(cè)量(包括非球面)

 9.  非破壞性光學(xué)元件折射率測(cè)量(包括非球面)


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