全歐光學WaveMaster波前測量儀用于球面透鏡，非球面透鏡和光學系統(tǒng)的波前測量，集成了準直系統(tǒng)，擴束或縮束系統(tǒng)，高精度樣品臺，多種光源和WaveSensor波前傳感器。此傳感器采用夏克-哈特曼傳感器原理，用于平面、球面、非球面面型的檢測，光學系統(tǒng)像差檢測，輸出激光光束質(zhì)量檢測，光束動態(tài)變化檢測，自適應系統(tǒng)波前的探測，并有針對大口徑光學和人工晶體波前檢測的解決方案。WaveMaster波前測量儀主要用來測量大型雙遠心鏡頭的全場波前，還可給出被測樣品的面型（PV和RMS），澤尼克系數(shù)（Zernike），點擴散函數(shù)（PSF），調(diào)制傳遞函數(shù)，斯特列爾比，楔角。同時，該產(chǎn)品也可用于人工晶體在空氣中或原位中的檢測，晶體低階和高階的相差，晶體的調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF），晶體的點擴散函數(shù)（PSF），晶體屈光度和像差。軟件具有多種模塊功能，簡單易用，用戶可根據(jù)需要進行選擇。

WaveMaster® PRO系列產(chǎn)品是為了適應波前質(zhì)量的大批量檢測的需求而研發(fā)的兩款儀器，可自行設置合格標準，并根據(jù)該標準自動判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 reflex配備托盤系統(tǒng)，實現(xiàn)對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster® PRO Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進行快速檢測。

應用范圍：

• 生產(chǎn)線上的大批量鏡頭波前和表面面形的檢測

• 晶圓級鏡頭的波前檢測