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當(dāng)一塊8英寸TGV玻璃基板需要15分鐘完成百萬微通孔定位+600萬幾何特征（孔徑、圓度、位置度）檢測，傳統(tǒng)設(shè)備還在“逐點掃描”時，瑞士丹青科技Werth的復(fù)合式三坐標(biāo)測量機的高清柵格掃描功能可在相機最大頻率下通過圖像處理傳感器的連續(xù)運動實現(xiàn)圖像采集?？梢詫崿F(xiàn)大區(qū)域的高分辨率自動檢測。將單個圖像疊加成完整圖像，可以實現(xiàn)以極短的測量時間和高的測量精度在“圖像內(nèi)”進行分析評估。  

瑞士丹青科技Werth的**WFP 光纖測針**能夠利用半徑僅為10微米的探針球?qū)O小尺寸的幾何特征進行高精度的接觸測量，接觸力僅在幾微牛范圍內(nèi)，可以對易變形零件進行不變形及不損害表面的測量。WFP光纖測針有2D光纖（XY平面）和3D光纖（空間）兩種型號。結(jié)合三維重構(gòu)算法，精準(zhǔn)測量錐度及不同深度下直徑隱形缺陷，從根源杜絕因金屬化不均勻?qū)е碌男盘杺鬏斒?mdash;—測量精度=產(chǎn)品壽命！  

基板表面哪怕出現(xiàn)0.5μm的局部隆起，也會在芯片鍵合時引發(fā)“多米諾效應(yīng)”。瑞士丹青科技 Werth的**CFP 點色譜傳感器**基于色差原理測量的傳感器，可以不受零件表面性質(zhì)的限制，能掃描高折射和透明的表面。以非接觸模式掃描表面平面度，2000點/秒的高速采樣配合納米級Z軸補償，高精度鎖定每一處微觀起伏，更通過熱膨脹系數(shù)動態(tài)校準(zhǔn)，讓玻璃基板在高溫工藝環(huán)境下仍保持“原子級平整”！