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詳細(xì)介紹
反射式膜厚測(cè)量?jī)x
A3-SR 系列反射式膜厚測(cè)量?jī)x可用于測(cè)量半導(dǎo)體鍍膜，手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合。A3-SR系列可用于測(cè)量2納米到3000微米的膜厚，測(cè)量精度達(dá)到0.1納米。 在折射率未知的情況下，A3-SR 還可用于同時(shí)對(duì)折射率和膜厚進(jìn)行測(cè)量。配手持式探頭,A3-SR 可以用來(lái)一鍵式測(cè)量車燈罩表面硬化膜(包括過(guò)渡層)和背面的防霧層,精度達(dá)到0.02um, 只需1秒鐘,還可以測(cè)量?jī)?nèi)飾件,外飾件的鋁陽(yáng)極氧化層和漆層的厚度,精度達(dá)到0.02um
此外，A3-SR 還可用于測(cè)量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。A3-SR進(jìn)行測(cè)量簡(jiǎn)單可靠，實(shí)際測(cè)量采樣時(shí)間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量，每次測(cè)量時(shí)間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內(nèi)的模型并可對(duì)多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫(kù)，同時(shí)支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。
同時(shí)，客戶還可以通過(guò)軟件自帶數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)材料，菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測(cè)量結(jié)果。目標(biāo)應(yīng)用：半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測(cè)量藍(lán)寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽(yáng)能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚，顏色測(cè)量卷對(duì)卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合
產(chǎn)品型號(hào)和系統(tǒng)設(shè)置：
產(chǎn)品型號(hào) | A3-SR-200 |
產(chǎn)品尺寸
| W270*D217*（H90+H140） 測(cè)試支架 |
測(cè)試方式 | 紫外+可見(jiàn)+UV+VIS 反射(R) |
波長(zhǎng)范圍 | 250-1050納米 |
光源 | 鎢鹵素?zé)?span>+氘燈 鹵素?zé)魳?biāo)稱壽命10000小時(shí),氘燈標(biāo)稱壽命1500小時(shí) |
光路和傳感器 | 光纖式(FILBER )+進(jìn)口光譜儀 |
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
參考光樣品 | 硅片 |
光斑大小 LIGHT SPOT | About 1 mm（標(biāo)配，可以根據(jù)用戶要求配置） |
樣品大小 SAMPLE SIZE | 10 mm TO 300 mm (可以根據(jù)用戶要求配置) |
膜厚測(cè)量性能指標(biāo)（THICKNESS SPECIFICATION）：
產(chǎn)品型號(hào) | A3-SR-200 |
厚度測(cè)量 1 Thickness范圍 | 2 nm - 100 （200）um |
折射率 1（厚度要求） N | 50nm and up |
準(zhǔn)確性 2 Accuracy | 2 nm 或0. 5% |
精度 3 precision | 0.1 nm |
1表內(nèi)為典型數(shù)值, 實(shí)際上材料和待測(cè)結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能
2 使用硅片上的二氧化硅測(cè)量，實(shí)際上材料和待測(cè)結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能
3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測(cè)量30次得出的1階標(biāo)準(zhǔn)均方差,每次測(cè)量小于1秒.
軟件(SOFTWARE)：
檢測(cè)項(xiàng)目 | 標(biāo)準(zhǔn)型 |
層數(shù) | 10 層 |
材料 | 表格型和函數(shù)型 |
粗糙度模型 | 有 |
反射/透射 | 反射型+透射型 |
材料庫(kù) | 表格型+函數(shù)型 |
入射角 | 垂直入射 |
折射率測(cè)量 | 有 |
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