日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。

• 高耐腐蝕性
  對(duì)應(yīng)HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進(jìn)行了電解研磨處理，充分發(fā)揮了其 出色的耐腐蝕性能力。
• 高精度、高可靠性
  直線性、滯后性、重復(fù)精度的影響造成和*擬合線的最大偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。
• 測(cè)定范圍寬
  表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm²）到20,684KPa（210KGf/cm²），絕對(duì)壓的壓力范圍為0～2,586torr。
• 使用壽命長(zhǎng)
  各測(cè)量范圍都通過了100萬(wàn)次的循環(huán)耐久測(cè)試。

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

規(guī)格

 

型號(hào)		表壓※						絕對(duì)壓
	PSI	25G	50G	100G	200G	500G	3000G	15A	25A	50A
壓力范圍	KPa	0～172.4	0～344.7	0～689.5	0～1,378.9	0～3,447.3	0～20,684	0～103.4	0～172.4	0～344.7
	kgf/cm2	0～1.76	0～3.52	0～7.03	0～14.06	0～35.16	0～210.9	-	-	-
	torr	-	-	-	-	-	-	0～776	0～1,293	0～2,586
精度（％ 全量程)		±0.5％		±0.25％				±0.5％

 

※所有的表壓類型可以連成。