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表面潔凈度測試儀 解決方案

時間:2025/11/12閱讀:240
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表面潔凈度測試儀

一、 儀器介紹

概述:

表面潔凈度測試儀采接觸式,量測物體表面的粒子數(shù)量的設備。半導體,面板廠,設備商與所有清潔部件廠商,驗證部件表面是否干凈的檢驗標準工具,人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子,這些粒子會快速沉降,逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關鍵表面或產(chǎn)品上,從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

執(zhí)行標準:

ISO14644-9:2022 《潔凈室和相關的受控環(huán)境第 9 部分:顆粒濃度表面清潔度的評估》  

 

二、 儀器參數(shù)

技術參數(shù):

控制系統(tǒng):PLC

操作界面:7寸觸摸屏

流量:28.3L/min+5% 內(nèi)置流量傳感器,流量自動閉環(huán)控制

光源: 進口激光二極管

測試粒徑:0.1、0.150.2、0.250.3、0.50.7、1.0、3.0、5.0um(可根據(jù)客戶需求定制,最多八個通道)

最大飽和濃度:2000000/ft35%

自凈時間:10min

測量次數(shù):0-99次周期:0-99999秒測量間:0-9999秒時時間:0-9999

潔凈度等級:1~9

采樣頭規(guī)格:φ36.5

數(shù)據(jù)單位:m3、ft3

SCP等級:1-8

表面類型:圓形、方形

表面探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm

數(shù)據(jù)單位:m2、ft2in2、cm2mm2

根據(jù)探頭的形狀(如:圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸),自動計算出表面積。

打印功能:熱敏打印機

數(shù)據(jù)儲存:可儲存100000組數(shù)據(jù)

重量:15kg

外形尺寸:300*400*450mm

電源:AC220V 50Hz  150W (可選帶鋰電池組)

 

基本配置

主機   一臺

說明書 1

合格證1

簽收單1

電源線1

扳手1

保修卡 一個

銘牌   一個


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