目錄:上海波銘科學儀器有限公司>>光譜系統(tǒng)>>顯微缺陷膜厚>> 相位差測量裝置 RETS-100nx New
● 采用了偏光光學系和多通道分光檢出器
● 有可對應各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學素子到第10代的大型基板
● 安全對策和粒子對策，可對應液晶line內(nèi)的檢查設備
● 封入cell gap
● twist角
● rubbing角
● pretilt角［TN,IPS,FFS,MVA］
● 空cell gap
● 相位差（復折射相位差）的波長分散
● 光學軸
● 橢圓率/方位角
● 三次元折射率/Rth/β
● 分光光譜/色度
● 液晶cell
- 透過、半透過型液晶cell（TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強感應電）
- 反射型液晶cell（TFT、TN、IPS、VA）
● 光學材料
- 其他（相位差?橢圓?偏光膜、液晶材料）
| 型號 | RETS series |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 20mm×20mm ～ * |
| cell gap測量范圍 | 0.1μm ～ 數(shù)10μm |
| cell gap重復性 | ±0.005μm |
| 檢出器 | 多通道分光光度計 |
| 測量波長范圍 | 400nm ～ 800nm |
| 光學系 透過用偏光子unit | 偏光光學系 消光比 10-5內(nèi)置Gran-tomson prism（方解石） 自動旋轉(zhuǎn)（角度精度0.1°）、自動裝卸機構 |
| 測量口徑 | φ2, φ5, φ10 (mm) |
| 光軸傾斜機構 | -20 ～ 45°、-45 ～ 45°等 |
* 大型玻璃基板也可用（2000mm×2000mm以上）
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