目錄:青島天仁微納科技有限責任公司>>納米壓印設(shè)備>> GL150/300 CLIV紫外納米壓印光刻設(shè)備
GL150/300 CLIV紫外納米壓印光刻設(shè)備主要功能
● 全自動150/300mm大面積、高精度、高深寬比納米壓印生產(chǎn)線
●CLIV技術(shù)，確保壓印結(jié)構(gòu)精度與結(jié)構(gòu)填充完整性
●Cassette to cassette自動上下片，光學巡邊預(yù)對位
●設(shè)備內(nèi)自動復(fù)制柔性復(fù)合工作模具，同時支持自動更換工作模具，適合連續(xù)生產(chǎn)
●自動對位、自動壓印、自動曝光固化、自動脫模，工藝過程在密閉潔凈環(huán)境中自動進行，以保證壓印質(zhì)量
●標配高功率紫外LED面光源（365nm，光強>1000mW/cm2 ），水冷冷卻，特殊功率以及特殊、混合波長光源可訂制，支持各種商用納米壓印材料
●產(chǎn)能可大于40片每小時，適合DOE、AR/VR衍射光波導（包括斜齒光柵）、線光柵偏振、超透鏡、生物芯片、LED、微透鏡陣列等應(yīng)用領(lǐng)域的量產(chǎn)
●隨機提供全套納米壓印工藝與材料，包括DOE、AR斜齒光柵、高密度、高深寬比結(jié)構(gòu)等工藝流程，幫助客戶零門檻達到國際的納米壓印水平
| 兼容基底尺寸 | GL150 CLIV：2inch、3inch、100mm、150mm GL300 CLIV：200mm、300mm 特殊尺寸可定制 |
| 支持基底材料 | 硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等 |
| 上下片方式 | Cassette to cassette全自動上下片 |
| 晶圓預(yù)對位 | 光學巡邊預(yù)對位 |
| 納米壓印技術(shù) | CLIV技術(shù)，適合高精度、高深寬比納米結(jié)構(gòu)壓印 |
| 壓印精度 | 優(yōu)于10納米* |
| 結(jié)構(gòu)深寬比 | 優(yōu)于10比1* |
| 殘余層控制 | 可小于10nm* |
| 紫外固化光源 | 紫外LED（365nm）面光源，光強>1000mW/cm2，水冷冷卻（2000mW/cm2類型光源可選配） |
| 設(shè)備內(nèi)部環(huán)境控制 | 標配，外部環(huán)境Class 100，內(nèi)部環(huán)境可達Class 10* |
| 自動壓印 | 支持 |
| 自動脫模 | 支持 |
| 自動工作模具復(fù)制 | 支持 |
| 自動工作模具更換 | 支持 |
| 模具基底對位功能 | 自動對位（選配） |
| 產(chǎn)能 | 可大于40片每小時* |
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