飛秒激光微銑削和功能紋理化的測量

得益于 Sensofar 的新技術“共聚焦融合"（結合了共聚焦和多焦面疊加技術），玻璃或 PMMA 等透明材料也可以進行成像。

飛秒激光是一種具有超短脈沖持續(xù)時間的激光。直到 2016 年，飛秒激光器才能夠被集成到 5 軸機床上。瑞士的 Georg Fischer 集團在2016 年最先實現(xiàn)了這一目標，因此成為該技術的世界先驅者。 這一發(fā)展為制造工藝帶來了新的可能性。

與傳統(tǒng)技術和/或其他激光相比，超短脈沖持續(xù)時間激光有兩個主要優(yōu)勢：

(1) 無毛刺微銑削。幾乎對零件沒有熱效應。產品經過干凈、鋒利的微銑削，具有非常鋒利的邊緣和高質量的表面光潔度。

(2)“冷激光"，使我們可以在任何材料上進行雕刻：藍寶石、塑料、玻璃、陶瓷、鋁、鋼等。

用于進行微銑削和功能紋理化的最佳技術。當 Microrelleus 在 2016 年投資購買五軸飛秒激光機床時，測量要求已發(fā)生變化。他們需要一種技術來在微米和納米級別上進行功能紋理化分析和測量。并且一切都需要以在高精確度下快速執(zhí)行。

圖 1. 飛秒激光機床

激光微銑削

該技術是在模具、微流體通道、微銑削應用中制造微腔的選擇，適用于回火鋼工具或硬質合金工具等。通過使用具有 5 倍和 20 倍物鏡的 Sensofar 技術，我們能夠通過易于使用和操作的采集和分析軟件快速高效地檢查每個微銑削項目。

得益于 Sensofar 結合共聚焦和多焦面疊加技術的**能力，玻璃或 PMMA 等透明材料也可以進行成像。這項新技術被稱為“共聚焦融合"，它將兩種技術的信息合并到同一幅形貌圖中，而不會影響采集時間。Sensofar 的軟件算法經過優(yōu)化，可以為每個像素選擇最佳采集數(shù)據(jù)。因此，操作員可以在共聚焦模式下以低放大倍率物鏡在高反射表面上測量高傾斜角，即激光紋理表面上的常見特征。

圖 2. 硬 質 合 金 刀 具 微 銑 削 和 多 焦 面 疊 加 顯 微 鏡 分 析

功能紋理化

功能紋理化因為在塑料零部件的材料或模具上方產生了微結構或納米結構，因此增加了零部件的功能性。功能包括：超疏水性、超親水性、抗菌、減少摩擦、光衍射等。 這是一個新的復雜過程，我們必須確保在創(chuàng)建形狀時微米和納米尺度上的大小都是準確無誤的。

憑借 Sensofar 出色的橫向分辨率，我們能夠使用 Sensofar 輪廓儀在共聚焦模式下以 100 倍放大倍率來分析微觀結構上的納米結構這是使用其他制造商的多焦面疊加顯微鏡所無法實現(xiàn)的，而這也是實現(xiàn)最佳紋理功能的關鍵要求。

圖 3. 共 聚 焦 顯 微 鏡 分 析 用 于 超 疏 水 目 的 的 微 米 和 納 米 紋 理

圖 4. 共 聚 焦 顯 微 鏡 分 析 用 于 光 衍 射 目 的 的 納 米 紋 理

Sensofar 的共聚焦和多焦面疊加技術組合可有效地分析任何材料的微銑削和功能紋理化，無論是在微米還是在納米級別。

我們能夠獲得快速且無損的測量結果，以確保實現(xiàn)以下目標：

1) 微銑削位于正確的公差范圍內。
2) 功能紋理化能夠根據(jù)創(chuàng)建的紋理正常運行