結構組成：

1.真空系統(tǒng)

成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置樣品的地方。

之所以采用真空，主要基于以下兩個原因：

電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會很快氧化失效，所以使用SEM時除了真空外，通常還需要用純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。

為了增加電子的平均自由程，使更多的電子用于成像。

2. 電子束系統(tǒng)

電子束系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡組成。主要用于產(chǎn)生能量分布很窄且具有一定電子能量的電子束，用于掃描成像。

3.電子槍

電子槍是用來產(chǎn)生電子的，主要有兩種，一共三種。

4.電磁透鏡

熱發(fā)射電子需要電磁透鏡才能形成光束，因此電磁透鏡對于使用熱發(fā)射電子槍的SEM來說是不可少的。通常組裝兩個組：

會聚透鏡：顧名思義，會聚透鏡使用會聚電子束，組裝在真空柱中，位于電子槍下方。通常不止一個，并且有一組會聚光圈與之匹配。 但是，會聚透鏡僅用于會聚電子束，與成像焦點無關。

物鏡：物鏡是真空柱底部的電磁透鏡，負責將電子束的焦點會聚到樣品表面。