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深圳九州工業(yè)品有限公司
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Rexxam RHDIW150A 超純水加熱單元:技術(shù)特點(diǎn)、規(guī)格參數(shù)及應(yīng)用領(lǐng)域全解析

時(shí)間:2026/1/6閱讀:183
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在半導(dǎo)體制造、液晶面板生產(chǎn)等精密工業(yè)領(lǐng)域,對(duì)清洗工序中使用的超純水(Ultrapure Water)溫度控制有著極的高的要求。Rexxam 公司推出的 RHDIW150A 超純水加熱單元,憑借其獨(dú)特的加熱技術(shù)和高潔凈設(shè)計(jì),成為滿足這些嚴(yán)苛環(huán)境需求的專業(yè)解決方案。

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一、 核心技術(shù)特點(diǎn):高效與穩(wěn)定并重

該設(shè)備的核心在于采用了高效率石墨加熱管作為熱源。與傳統(tǒng)的鹵素加熱管相比,石墨加熱管在熱效率上具有顯著優(yōu)勢(shì),能夠有效降低能耗,實(shí)現(xiàn)更經(jīng)濟(jì)的運(yùn)行成本。

除了節(jié)能特性外,該加熱單元還具備極的高的穩(wěn)定性。其電阻值在長(zhǎng)期使用中保持穩(wěn)定,這直接延長(zhǎng)了加熱器的使用壽命,減少了設(shè)備維護(hù)和更換的頻率。

為了確保液體的純凈度,設(shè)備還提供了高精度過濾器作為選配功能。這一設(shè)計(jì)能夠有效過濾液體中的微細(xì)粒子,防止雜質(zhì)污染,滿足高潔凈度制程的要求。

二、 關(guān)鍵規(guī)格參數(shù)

RHDIW150A 型號(hào)在設(shè)計(jì)上兼顧了大流量與高精度溫控。以下是該設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù):

  • 液體種類:專為超純水設(shè)計(jì)。

  • 溫度控制:設(shè)定范圍覆蓋 25℃~85℃,溫控精度極的高,可控制在設(shè)定溫度 ±1℃ 以內(nèi)。

  • 流量與壓力:標(biāo)準(zhǔn)藥液流量為 38L/min,壓力損失控制在 0.027MPa以下,確保流體輸送的穩(wěn)定性。

  • 加熱能力:配備 147kw 的石墨加熱管,提供強(qiáng)勁的加熱動(dòng)力。

  • 材質(zhì)與構(gòu)造:與純水接觸的部位均采用 石英氟樹脂,這兩種材質(zhì)具有優(yōu)異的耐腐蝕性和低析出特性,保證了水質(zhì)的純凈。

  • 外形尺寸與電源:設(shè)備尺寸為 1010(W)×1260(D)×2120(H) mm,重量為 520kg。電源支持三相 AC220V~480V ±10%。

三、 典型應(yīng)用領(lǐng)域

憑借其精密的溫控能力和高潔凈特性,Rexxam RHDIW150A 超純水加熱單元主要應(yīng)用于以下高的端制造工序:

  1. 半導(dǎo)體清洗工序:在芯片制造過程中,對(duì)晶圓進(jìn)行高潔凈度的清洗。

  2. 液晶清洗工序:用于液晶面板生產(chǎn)中的清洗環(huán)節(jié)。

  3. 藥液稀釋加熱:適用于需要精確溫度控制的藥液處理過程。

四、 總結(jié)

Rexxam RHDIW150A 超純水加熱單元通過采用石墨加熱技術(shù),在提升熱效率和延長(zhǎng)設(shè)備壽命方面表現(xiàn)出色。其 ±1℃ 的溫控精度和選配的高精度過濾系統(tǒng),使其成為半導(dǎo)體、液晶等尖的端產(chǎn)業(yè)中不可的或缺的溫控設(shè)備,能夠有效保障生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的良率。


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