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SONOSYS® Megasonic 雙噴嘴兆聲波清洗系統(tǒng)技術(shù)說明

時(shí)間:2026/3/4閱讀:72
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一、系統(tǒng)概述

SONOSYS® Megasonic 雙噴嘴兆聲波清洗系統(tǒng)是一款專為精密清洗設(shè)計(jì)的設(shè)備,其核心技術(shù)是通過雙噴嘴換能器產(chǎn)生兆聲波,并借助流動(dòng)液體(如去離子水)將能量傳遞至基板表面,實(shí)現(xiàn)非接觸式清潔。該系統(tǒng)能量集中,每個(gè)噴嘴約35瓦的功率可聚焦于2 x 4毫米的小區(qū)域,適用于單晶圓、掩膜、液晶顯示器、基板及微機(jī)電系統(tǒng)等精密部件的清洗。

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二、模塊化兆聲波發(fā)生器技術(shù)參數(shù)

參數(shù)類別詳細(xì)規(guī)格
電氣數(shù)據(jù)輸出功率:70瓦(由MLM 1和MLM 2模塊組裝)
功率調(diào)節(jié)范圍:約20% - 100%
頻率范圍:950 kHz至1.05 MHz / 1.95 MHz至2.05 MHz / 2.95 MHz至3.05 MHz / 3.95 MHz至4.05 MHz
電源電壓:230 VAC;50–60 Hz
機(jī)械數(shù)據(jù)外殼設(shè)計(jì):19英寸機(jī)箱3/4 U
尺寸:165x185x329毫米(寬x高x深)
重量:約5.2千克
操作條件環(huán)境溫度:+10°C至+40°C
濕度要求:需防止冷凝潮濕












三、雙噴嘴組件技術(shù)參數(shù)

參數(shù)類別詳細(xì)規(guī)格
電氣數(shù)據(jù)高頻輸入:2 x 35瓦
頻率組合:1 MHz、2 MHz、3 MHz、4 MHz(可選組合)
換能器元件:特殊PZT壓電元件
機(jī)械數(shù)據(jù)外徑尺寸:74 x 79.8 x 37毫米
重量:600克
液流接口:2 x 1/8英寸NPT
電纜長(zhǎng)度:標(biāo)準(zhǔn)3米,最長(zhǎng)50厘米
噴嘴與清潔對(duì)象距離:5毫米至20毫米









四、系統(tǒng)配置選項(xiàng)

該系統(tǒng)提供多種配置選項(xiàng),用戶可根據(jù)具體需求選擇不同頻率組合的發(fā)生器型號(hào)(如13405-100、13407-070、13407-071、13406-002)及噴嘴型號(hào)(如13790-003、13790-005、13792-004、13792-005),以適配不同應(yīng)用場(chǎng)景。


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