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當(dāng)前位置：廣東森德儀器有限公司>>光學(xué)儀器>>掃描電鏡SEM>> ZEM20臺(tái)式掃描電鏡
臺(tái)式掃描電鏡 ZEM20是澤攸科技ZEM系列中的一款高性?xún)r(jià)比臺(tái)式掃描電子顯微鏡（SEM），采用預(yù)對(duì)中鎢燈絲電子源與真空分隔技術(shù)，兼具高分辨率成像與快速操作體驗(yàn)。其緊湊設(shè)計(jì)、超大樣品倉(cāng)及智能化操作界面，適配材料科學(xué)、電子制造、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的微納結(jié)構(gòu)表征需求，尤其適合實(shí)驗(yàn)室與工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的高效檢測(cè)場(chǎng)景。
核心特點(diǎn)
優(yōu)秀成像性能
高分辨率：4nm@20kV，最大放大倍數(shù)36萬(wàn)倍，清晰呈現(xiàn)納米級(jí)表面形貌（如金屬顆粒、碳納米管）。
雙真空模式：標(biāo)配高真空，可選配低真空（1-60Pa），支持非導(dǎo)電樣品免噴金觀(guān)察。
高效操作與快速換樣
真空分隔設(shè)計(jì)：電子槍與樣品倉(cāng)獨(dú)立真空，換樣時(shí)間＜1分鐘（最快30秒），提升檢測(cè)效率。
全鼠標(biāo)操控：一體式聚光鏡設(shè)計(jì)，無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)光闌，簡(jiǎn)化操作流程。
靈活擴(kuò)展與智能監(jiān)測(cè)
多軸樣品臺(tái)：標(biāo)配三軸移動(dòng)，可選五軸臺(tái)適配復(fù)雜樣品定位與原位實(shí)驗(yàn)。
倉(cāng)內(nèi)攝像頭：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品動(dòng)態(tài)變化，支持原位加熱、拉伸等拓展功能。
多探測(cè)器兼容：標(biāo)配SE/BSE探測(cè)器，可選配EDS能譜分析，實(shí)現(xiàn)成分與形貌聯(lián)動(dòng)檢測(cè)。
工業(yè)級(jí)適配性
超大樣品倉(cāng)：兼容塊狀、粉末及薄膜樣品，支持大尺寸工業(yè)件（如電路板、涂層試片）直接觀(guān)測(cè)。
減速模式選配：弱導(dǎo)電樣品無(wú)需預(yù)處理，降低檢測(cè)成本與時(shí)間。
參數(shù)摘要
| 關(guān)鍵指標(biāo) | 參數(shù)詳情 |
|---|---|
| 分辨率 | ≤4 nm（20kV加速電壓） |
| 放大倍數(shù) | 20×至360,000× |
| 加速電壓 | 最大20 kV |
| 燈絲類(lèi)型 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
| 樣品臺(tái) | 三軸標(biāo)配，五軸選配 |
| 真空模式 | 高真空（標(biāo)配），低真空（選配） |
| 探測(cè)器 | SE、BSE（標(biāo)配），EDS（選配） |
應(yīng)用領(lǐng)域
材料科學(xué)：納米材料形貌分析（如碳納米管、金屬顆粒）、涂層/鍍層均勻性檢測(cè)。
電子制造：PCB板缺陷檢測(cè)、半導(dǎo)體器件微觀(guān)結(jié)構(gòu)觀(guān)測(cè)。
生物醫(yī)學(xué)：生物組織表面形貌研究、藥物載體顆粒分析。
工業(yè)質(zhì)檢：合金相結(jié)構(gòu)觀(guān)察、復(fù)合材料界面表征。
科研教育：高校實(shí)驗(yàn)教學(xué)、跨學(xué)科微納尺度研究。
臺(tái)式掃描電鏡 優(yōu)勢(shì)總結(jié)
高效便捷：真空分隔技術(shù)+全鼠標(biāo)操作，大幅提升檢測(cè)效率。
靈活拓展：支持EDS、原位臺(tái)等多模塊擴(kuò)展，滿(mǎn)足進(jìn)階分析需求。
廣泛適配：低真空模式與超大樣品倉(cāng)，覆蓋導(dǎo)電/非導(dǎo)電、大尺寸樣品檢測(cè)。
