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高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區(qū)；
可實現快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低。
| 項目 | 型號 | TFE - 1200 - 50 - 220 |
| 溫度 | 1150℃（短期） | |
| 額定溫度 | 1100℃ | |
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
| 控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
| 爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
| 加熱區(qū)長度 | 220mm | |
| 恒溫區(qū)長度 | 80mm | |
| 加熱元件 | 優(yōu)質國產電阻絲 | |
| 額定功率 | 3KW | |
| 供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） | |
| 射頻電源 | 射頻功：5-500W； 射頻頻：13.56MHz； 匹配方式：自動匹配 | |
| 真空系統(tǒng) | 雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等） | |
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
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